磁盘基片精密切削及测试系统

本文提出了三种用于盘片精密切削及测试的系统:高精度车床真空吸盘系统;盘片平面度精密测试系统和能测一般切削力及微小切削力的测试系统。它们既适用于盘片精密切削及测量试验,也可用于其它场合。

超精密切削的机理及模型

本文通过分析超精密切削的本质特点,研究了超精密切削的机理;建立了超精切削的模型;导出了超精切削的二元力学关系:并通过实际测试切削力证实了理论分析。