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单晶金刚石的动态摩擦抛光
1
作者
张浩晨
徐锴
+2 位作者
燕增宇
宋志朋
陈广超
《中国科学院大学学报(中英文)》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期604-611,共8页
在众多单晶金刚石抛光方法中,动态摩擦抛光(DFP)因其具有极高的去除速率而受到广泛关注。研究DFP过程中3种抛光参数(抛光载荷、抛光时间和抛光盘线速率)以及3种夹持方式(粘接式、镶嵌式和卡钳式)对单晶金刚石抛光效果的影响。结果表明:...
在众多单晶金刚石抛光方法中,动态摩擦抛光(DFP)因其具有极高的去除速率而受到广泛关注。研究DFP过程中3种抛光参数(抛光载荷、抛光时间和抛光盘线速率)以及3种夹持方式(粘接式、镶嵌式和卡钳式)对单晶金刚石抛光效果的影响。结果表明:增大抛光载荷、抛光时间和抛光盘线速率,都会导致样品的质量损耗增加和表面粗糙度降低,并提升金刚石(400)面的衍射峰强度。在3种夹持方法中,粘接式夹持的去除速率最快,最高可达25.2 nm/h,镶嵌式夹持最慢,卡钳式夹持介于前二者之间。定义一个抛光评价参量K:K=ΔRa/Δm,即单位材料损耗量下获得的表面粗糙度改善。根据K值的变化,可将DFP过程划分为以“粗糙度改善”为主和以“质量损耗”为主的2个阶段,前者K值高于后者。抛光参数中,增加抛光盘线速率可以单调提高K值,而抛光载荷和抛光时间对K值存在复杂影响。
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关键词
单晶金刚石
动态摩擦抛光
粗糙度
质量损耗
夹持方式
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职称材料
题名
单晶金刚石的动态摩擦抛光
1
作者
张浩晨
徐锴
燕增宇
宋志朋
陈广超
机构
中国科学院大学材料科学与光电技术学院
出处
《中国科学院大学学报(中英文)》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期604-611,共8页
基金
国家自然科学基金(52072365)
中国科学院国际伙伴计划项目(211211KYSB20210007)资助。
文摘
在众多单晶金刚石抛光方法中,动态摩擦抛光(DFP)因其具有极高的去除速率而受到广泛关注。研究DFP过程中3种抛光参数(抛光载荷、抛光时间和抛光盘线速率)以及3种夹持方式(粘接式、镶嵌式和卡钳式)对单晶金刚石抛光效果的影响。结果表明:增大抛光载荷、抛光时间和抛光盘线速率,都会导致样品的质量损耗增加和表面粗糙度降低,并提升金刚石(400)面的衍射峰强度。在3种夹持方法中,粘接式夹持的去除速率最快,最高可达25.2 nm/h,镶嵌式夹持最慢,卡钳式夹持介于前二者之间。定义一个抛光评价参量K:K=ΔRa/Δm,即单位材料损耗量下获得的表面粗糙度改善。根据K值的变化,可将DFP过程划分为以“粗糙度改善”为主和以“质量损耗”为主的2个阶段,前者K值高于后者。抛光参数中,增加抛光盘线速率可以单调提高K值,而抛光载荷和抛光时间对K值存在复杂影响。
关键词
单晶金刚石
动态摩擦抛光
粗糙度
质量损耗
夹持方式
Keywords
single crystal diamond
dynamic friction polishing(DFP)
roughness
mass loss
clamping type
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶金刚石的动态摩擦抛光
张浩晨
徐锴
燕增宇
宋志朋
陈广超
《中国科学院大学学报(中英文)》
CAS
CSCD
北大核心
2024
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