-
题名三色线阵CCD高速信号处理系统的优化设计
被引量:1
- 1
-
-
作者
褚世冲
徐耀良
周奇聪
狄芬芬
杨波
-
机构
上海电力学院自动化工程学院
-
出处
《电子测量技术》
2015年第9期107-111,共5页
-
文摘
为提高线阵CCD测量系统的测量精度和抗干扰性能同时保证系统信号处理速度,总结并试验了几种常见的CCD信号处理方案,并提出对应优化设计。阐述了线阵CCD传感器、CCD驱动电路的工作原理,着重分析研究了CCD测量系统中的信号采样和处理过程。详述了CCD输出电压特性,分压电路、滞回比较电路工作原理和MCU采样时序。试验结果表明,相比传统使用单比较器的方案,使用多滞回比较器的设计系统精度得到大幅提升,同时抗干扰性能也得到更好的保证。该设计已应用到印刷行业的纠偏控制器中。
-
关键词
三色线阵电荷耦合器件
纠偏控制
滞回比较器
并行比较
-
Keywords
tricolour linear CCD
deviation control
hysteresis comparators
parallel compare
-
分类号
TP247
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名ALD反应腔分区加热控制
被引量:1
- 2
-
-
作者
杨宁
余平
狄芬芬
-
机构
上海电力学院自动化工程学院
-
出处
《自动化与仪器仪表》
2015年第6期38-39 42,42,共3页
-
基金
上海市重点科技攻关计划(11510500800)
-
文摘
在原子层沉积系统(Atomic layer deposition)ALD的薄膜生长工艺流程中,关键部分在于对工艺腔室内部温度和压强的控制。由于ALD反应腔内部温度控制具有非线性、滞后性及时变性,本文通过对反应腔采取分区加热的方法,使用西门子TIA博途软件自带的具有抗积分饱和功能的PID控制器,加上前馈补偿PID控制算法,很好地解决了反应腔内温度均匀性这一问题。并通过实验实测数据和仿真,得出整个温度控制范围误差控制在5℃‰。
-
关键词
ALD
温度控制
分区加热
前馈补偿
-
Keywords
ALD
Temperature control
Two district heating methods
Feed-forward compensation
-
分类号
TB383.2
[一般工业技术—材料科学与工程]
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-