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题名辽宁省林业生产要素贡献率变化的分析
被引量:1
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作者
王丽鹤
陈珂
杨芳
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机构
沈阳农业大学林学院
沈阳热电厂
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出处
《经济师》
2008年第6期269-271,共3页
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文摘
文章运用柯布-道格拉斯生产函数,在考察了1982-2004年间资本、劳动、林地等因素对辽宁林业经济增长与发展的直接影响,同时,从技术进步、资源配置的改善、规模的节约、制度创新、政策等因素对林业经济的影响进行了详细论述。并提出应该通过制度创新,建立以林业经营者为投资主体的资本流入体制;尽力提倡参与式林业、发展社会林业模式;林地是林业生产的基础,经营模式应由粗放型向集约型转变,不断维持或提高林地的生产能力;科学技术进步对林业经济的贡献逐步增长。应深化林业科技体制改革,加快林业科技进步,建立和完善科技创新体系,增加林业科技投入,逐步形成多渠道、多形式、多层次的科技投入体系。
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关键词
生产要素
林业经济
资本
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分类号
F326.27
[经济管理—产业经济]
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题名涂胶显影设备的静电防护设计
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作者
高晓旭
王丽鹤
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机构
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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出处
《中国高新科技》
2024年第12期37-39,共3页
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文摘
文章以静电的危害及产生机理为引申,分析了半导体涂胶显影设备如何在设计细节、制造调试环节去实现静电释放,避免静电的影响。首先,通过静电消除器和STHC的应用阐述了涂胶显影设备的微环境控制静电的设计方案。然后,从涂胶显影设备使用的液体DIW、有机溶剂的传输方案介绍了EFLOW、防静电管的使用背景,并重点说明NTD单元的静电接地方式。最后,针对spin单元零件设计的材料选择及制造工艺做了分析。
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关键词
涂胶显影设备
静电释放
静电消除器
EFLOW
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Keywords
adhesive development equipment
electrostatic discharge
electrostatic eliminator
EFLOW
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名温湿度控制在半导体制程中的作用研究
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作者
王丽鹤
张明松
高晓旭
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机构
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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出处
《今日自动化》
2023年第5期103-105,共3页
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文摘
结合温湿度控制在半导体工艺各流程中的重要性,论述了不同工艺步骤专用设备,对温湿度的控制的必要性,对所处的洁净室环境提出了更高要求。随着半导体制程进入纳米级,温湿度控制要求更精细化、智能化。确保半导体的质量和器件的性能,可以提高生产效率和减少生产成本。因此,在半导体工艺的设计和运行中,必须充分考虑温湿度控制这一因素。
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关键词
半导体设备
工艺制程
模块化
静电放电
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Keywords
semiconductor equipment
process
modular
electrostatic discharge
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名工业工程视角下的人力资源管理及其发展趋势
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作者
王丽鹤
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机构
国网吉林省电力有限公司长春市九台区供电公司
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出处
《区域治理》
2018年第8期129-129,共1页
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文摘
当前全球经济处在快速转变中,企业若想迅速发展,则应当运用先进的创新方式,注重人力资源管理的创新.在实际应用中需要采取有效的措施进行问题优化,从而通过对人才的发掘与培养充分发挥他们的无限潜能,让企业在激烈的市场竞争中保持可持续发展.基于此本文分析了工业工程视角下的人力资源管理及其发展趋势.
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关键词
工业工程视角下
人力资源管理
发展趋势
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分类号
F2
[经济管理—国民经济]
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题名提高涂胶显影机产能的方法
被引量:1
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作者
高晓旭
张岳
王丽鹤
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机构
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
沈阳新宝能科技有限公司
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出处
《今日制造与升级》
2023年第5期38-40,共3页
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文摘
随着各种消费类电子产品的快速升级迭代,各大终端芯片制造厂(FAB)都在极致地追求产品产能最大化,会优先考虑在有限空间下布局更多的工艺设备,而光刻机作为芯片制造工序最为重要、价格最贵且技术含量最高的核心设备,一直保持着迭代更新。无论是主动匹配光刻机还是由光刻机产品升级的反向施压,涂胶显影机都必须不断探索提高设备产能的方法。文章从阿斯麦DUV光刻机的研发路线图出发,分析了涂胶显影机的产能理论计算方法,并结合产能计算公式的影响因素,从提高机器人产能、缩短涂胶显影单元模块的工艺时间以及关联的软件调度优化等几方面做了综述分析,重点结合实践应用在机器人提速的影响、涂胶显影主轴电机控制模式选择以及涂胶单元增加风流控制机构等案例及设计思路上探讨设备产能提升的途径。
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关键词
涂胶显影机产能
半导体设备
单元配方优化
机器人提速
风流控制
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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