微测辐射热计FPA的热学分析

微测辐射热计FPA的热设计是非致冷红外探测器设计的难点和关键。针对RIO推出的μm×25μm IRFPA对其热性能作了分析，分析了桥面尺寸的减小对探测元被红外辐照后的温度变化率的影响，以及单个探测元在受红外辐照和偏置脉冲时的温度变化，并使用有限元分析软件ANSYS8．0模拟了单个热绝缘结构在稳态工作时的温度场分布。