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计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用 被引量：1
1
作者 方容川 常超 +9 位作者 廖源 叶祉渊 薛剑耿 王冠中 马玉蓉 尚乃贵 牛晓滨 王代冕 吴气虹 揭建胜 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第1期74-76,共3页
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
关键词 金刚石薄膜 计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统 应用 膜生长
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