SWNT随机网络TFT输出特性的仿真及实验验证

为了准确表征单壁碳纳米管(SWNT)随机网络薄膜晶体管(TFT)的输出特性,采用蒙特卡罗方法实现对沟道区域SWNT随机分布情况的仿真,并且通过在弹道输运模型中引入与栅压相关的拟合参数α(Vg)拟合碳管间、碳管与金属电极间接触的影响,最终获得SWNT随机网络TFT输出特性的仿真结果。实验中,以溶液浸泡法制备SWNT薄膜作为TFT沟道材料,以与传统工艺兼容的淀积、刻蚀等步骤制备了TFT,并进行了器件输出特性的测试。实验验证表明,沟道宽度为50μm、长度为10μm TFT的输出特性测试数据与仿真拟合的误差仅为5.6%。此仿真方法能较准确地描写SWNT随机网络TFT的输出特性,通过对蒙特卡罗仿真参数的调整,能预测薄膜晶体管跨导随几何尺寸的变化。