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具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析
1
作者
张成悌
薛靓
+7 位作者
付天坤
徐德宇
刘静
冉莉萍
王冠熹
龚柯安
李华
张宝武
《中国测试》
CAS
北大核心
2023年第S01期231-240,共10页
文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的...
文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度的分析,则由本文完成。该文首先对F-P标准具的检定及其测量不确定度就行了分析。量块尺寸在白光干涉仪上与标准具作比较测量。为减少标准具的数量,量块尺寸可以与两块或三块标准具组成的尺寸进行比较,也可以是由一块尺寸较小的标准具经过光学倍增法实现与被检量块尺寸相同进行比较。例如80mm的量块用40mm的标准具进行比较,这时在量块上的光路在标准具中多一次反射达到;90mm量块则用30mm标准具进行比较。他们也可以由两块标准具组成的尺寸进行比较。分析时以倍增法测量误差最大,以其进行计算。充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪完全满足检定1等量块的要求。通过文献[1]及本文的介绍,映证该技术可以实现普及1等量块的检定及量块的自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的自动化检定。
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关键词
F-P标准具
白光干涉仪
零次干涉带
等倾干涉环
下载PDF
职称材料
F-P标准具用于量块量值的传递与溯源
被引量:
1
2
作者
张成悌
薛靓
+7 位作者
付天坤
刘静
冉莉萍
徐德宇
王冠熹
龚柯安
李华
张宝武
《中国测试》
CAS
北大核心
2022年第S02期54-58,共5页
文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析,充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。...
文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析,充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。通过该文的介绍,印证该技术可以实现量块自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的检定。文章还给出具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块具有的9个优点。
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关键词
白光干涉仪
F-P标准具
零次干涉带
等倾干涉环
下载PDF
职称材料
题名
具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析
1
作者
张成悌
薛靓
付天坤
徐德宇
刘静
冉莉萍
王冠熹
龚柯安
李华
张宝武
机构
中国测试技术研究院
成都新成量工具有限公司
中国计量大学
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2023年第S01期231-240,共10页
文摘
文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度的分析,则由本文完成。该文首先对F-P标准具的检定及其测量不确定度就行了分析。量块尺寸在白光干涉仪上与标准具作比较测量。为减少标准具的数量,量块尺寸可以与两块或三块标准具组成的尺寸进行比较,也可以是由一块尺寸较小的标准具经过光学倍增法实现与被检量块尺寸相同进行比较。例如80mm的量块用40mm的标准具进行比较,这时在量块上的光路在标准具中多一次反射达到;90mm量块则用30mm标准具进行比较。他们也可以由两块标准具组成的尺寸进行比较。分析时以倍增法测量误差最大,以其进行计算。充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪完全满足检定1等量块的要求。通过文献[1]及本文的介绍,映证该技术可以实现普及1等量块的检定及量块的自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的自动化检定。
关键词
F-P标准具
白光干涉仪
零次干涉带
等倾干涉环
Keywords
F-P etalon
white light interferometer
zero order interference band
equal inclination angle interference ring
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
F-P标准具用于量块量值的传递与溯源
被引量:
1
2
作者
张成悌
薛靓
付天坤
刘静
冉莉萍
徐德宇
王冠熹
龚柯安
李华
张宝武
机构
中国测试技术研究院
成都新成量工具有限公司
中国计量大学
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2022年第S02期54-58,共5页
文摘
文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析,充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。通过该文的介绍,印证该技术可以实现量块自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的检定。文章还给出具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块具有的9个优点。
关键词
白光干涉仪
F-P标准具
零次干涉带
等倾干涉环
Keywords
white light interferometer
F-P etalon
zero-order interference band
equal inclination interference ring
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析
张成悌
薛靓
付天坤
徐德宇
刘静
冉莉萍
王冠熹
龚柯安
李华
张宝武
《中国测试》
CAS
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
F-P标准具用于量块量值的传递与溯源
张成悌
薛靓
付天坤
刘静
冉莉萍
徐德宇
王冠熹
龚柯安
李华
张宝武
《中国测试》
CAS
北大核心
2022
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引证文献
统计分析
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