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FinFET芯片TEM样品制备及避免窗帘效应方法
1
作者
胡康康
王刘勇
+3 位作者
黄亚敏
郎莉莉
董业民
王
丁
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第8期1301-1307,共7页
制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过...
制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过程中从技术角度提出了两种自下而上制样方案来抑制窗帘效应。为扩大样品的可表征视场范围,在避免样品弯曲的前提下,提出了一种薄片提取方法。结果表明,离子束流越大,窗帘效应越严重,自下而上方法能有效规避窗帘效应;离子束电压30 kV时采用清洗截面(CCS)模式、5 kV/2 kV时采用矩形模式,样品台倾斜补偿角度为1.5°~3.5°,进行交叉减薄,且最终铣削长度控制在1μm时减薄效果最好;新的薄片提取方法改变了样品的铣削方向,在避免窗帘效应破坏感兴趣结构和样品弯曲的前提下,将样品的可表征视场范围扩大了5倍。研究结果对优化TEM样品制备方法以及芯片失效分析提供了参考。
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关键词
聚焦离子束(FIB)
透射电子显微镜(TEM)样品
14
nm鳍式场效应晶体管(FinFET)
窗帘效应
失效分析
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职称材料
海藻酸钠溶液对阳离子聚丙烯酰胺膜污染的清洗性能研究
2
作者
张颖
吕恺
+4 位作者
张雪艳
李文文
王刘勇
史西志
陆茵
《宁波大学学报(理工版)》
CAS
2021年第1期21-26,共6页
使用不同浓度的海藻酸钠溶液在碱性环境下对阳离子聚丙烯酰胺(CPAM)污染膜进行清洗,测量清洗前后膜的纯水通量及孔径变化,探讨海藻酸钠对CPAM污染膜的清洗流程与清洗效果.结果表明,使用质量分数为0.05%~0.70%氢氧化钠与0.03%~0.09%海藻...
使用不同浓度的海藻酸钠溶液在碱性环境下对阳离子聚丙烯酰胺(CPAM)污染膜进行清洗,测量清洗前后膜的纯水通量及孔径变化,探讨海藻酸钠对CPAM污染膜的清洗流程与清洗效果.结果表明,使用质量分数为0.05%~0.70%氢氧化钠与0.03%~0.09%海藻酸钠共混溶液对膜进行清洗,可以有效地恢复膜的纯水通量,但是直接清洗会导致膜孔径变大,膜表皮受损;而在过滤前将膜预先浸泡在质量分数为0.05%~0.10%可溶性阴离子聚合物海藻酸钠溶液中,可在膜表面形成海藻酸钠预保护层,在其过滤CPAM污水受到污染后,再采用碱性海藻酸钠溶液清洗2~3 h,就可在膜表面形成由海藻酸钠预保护层-CPAM污染层-海藻酸钠清洗层构成的可溶性的"三明治"型聚集体,在保护膜结构和过滤孔径基本不变的基础上实现清洗效果,且多次重复清洗的膜仍具有良好的过滤性能.
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关键词
阳离子聚丙烯酰胺
膜污染
清洗方法
碱性海藻酸钠溶液
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职称材料
单质铜颗粒掺杂的氧化亚铜复合薄膜制备及物性研究
被引量:
1
3
作者
王刘勇
《应用物理》
2015年第11期131-136,共6页
本文采用脉冲激光沉积法成功制备出,Cu2O:Cu复合薄膜,Cu2O薄膜。结果表明在600℃时易获得纯Cu2O薄膜,当温度升高到700℃时,会有铜单质的出现,并通过X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM),扫描电子显微镜(SEM),探究了薄膜的生长取向和表面形...
本文采用脉冲激光沉积法成功制备出,Cu2O:Cu复合薄膜,Cu2O薄膜。结果表明在600℃时易获得纯Cu2O薄膜,当温度升高到700℃时,会有铜单质的出现,并通过X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM),扫描电子显微镜(SEM),探究了薄膜的生长取向和表面形貌,在STO (001)基底上,Cu2O生长取向为(002),Cu为(022)。同时利用透射电子显微镜测试了薄膜的微结构,但由于Cu颗粒或团簇尺寸太小,并不能直接被观察到。薄膜的光吸收测试表明,这种颗粒掺杂的复合薄膜较纯Cu2O薄膜,在部分波段具有更高的吸收系数。
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关键词
Cu
2
O:Cu
脉冲激光沉积
颗粒掺杂
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职称材料
GC-MS/MS法测定沉积物和生物样品中邻苯二甲酸酯
被引量:
3
4
作者
时衍伟
王刘勇
+3 位作者
张蓉蓉
张泽明
孙爱丽
史西志
《分析试验室》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期141-146,共6页
采用固相萃取(SPE)和QuEChERS技术结合气相色谱-串联质谱(GC-MS/MS)技术,建立了养殖海域沉积物和生物样品中16种邻苯二甲酸酯(PAEs)定量分析方法。沉积物样品以二氯甲烷为提取溶剂,经PSA-Silica固相萃取柱净化,生物样品以乙腈为提取溶剂...
采用固相萃取(SPE)和QuEChERS技术结合气相色谱-串联质谱(GC-MS/MS)技术,建立了养殖海域沉积物和生物样品中16种邻苯二甲酸酯(PAEs)定量分析方法。沉积物样品以二氯甲烷为提取溶剂,经PSA-Silica固相萃取柱净化,生物样品以乙腈为提取溶剂,经150.0 mg N-丙基乙二胺(PSA)、150.0 mg C18和150.0 mg石墨化碳黑(GCB)净化,在多反应监测模式(MRM)下进行定量分析。结果表明,16种PAEs在质量浓度0.5~300μg/L范围内具有较好的线性相关性(R^(2)>0.9990);沉积物样品中PAEs检出限(LODs)在0.10~1.54μg/kg之间,在10.0,20.0,50.0μg/L 3个添加浓度下的平均回收率为70.1%~110.2%,相对标准偏差(RSD)为2.9%~7.9%;生物样品中PAEs的LODs在0.23~0.96μg/kg范围内,在10.0,20.0,50.0μg/L 3个添加浓度下的平均回收率为71.8%~107.4%,RSD为2.6%~9.1%。方法适用于海洋环境中沉积物和生物中PAEs残留的监测。
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关键词
GC-MS/MS
邻苯二甲酸酯
固相萃取
QUECHERS
原文传递
题名
FinFET芯片TEM样品制备及避免窗帘效应方法
1
作者
胡康康
王刘勇
黄亚敏
郎莉莉
董业民
王
丁
机构
上海理工大学材料与化学学院
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第8期1301-1307,共7页
基金
中国科学院战略性先导科技专项(A类)(XDA18030100)
文摘
制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过程中从技术角度提出了两种自下而上制样方案来抑制窗帘效应。为扩大样品的可表征视场范围,在避免样品弯曲的前提下,提出了一种薄片提取方法。结果表明,离子束流越大,窗帘效应越严重,自下而上方法能有效规避窗帘效应;离子束电压30 kV时采用清洗截面(CCS)模式、5 kV/2 kV时采用矩形模式,样品台倾斜补偿角度为1.5°~3.5°,进行交叉减薄,且最终铣削长度控制在1μm时减薄效果最好;新的薄片提取方法改变了样品的铣削方向,在避免窗帘效应破坏感兴趣结构和样品弯曲的前提下,将样品的可表征视场范围扩大了5倍。研究结果对优化TEM样品制备方法以及芯片失效分析提供了参考。
关键词
聚焦离子束(FIB)
透射电子显微镜(TEM)样品
14
nm鳍式场效应晶体管(FinFET)
窗帘效应
失效分析
Keywords
focused ion beam(FIB)
transmission electron microscope(TEM)sample
14 nm fin field effect transistor(FinFET)
curtaining effect
failure analysis
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
海藻酸钠溶液对阳离子聚丙烯酰胺膜污染的清洗性能研究
2
作者
张颖
吕恺
张雪艳
李文文
王刘勇
史西志
陆茵
机构
宁波大学食品与药学学院
出处
《宁波大学学报(理工版)》
CAS
2021年第1期21-26,共6页
基金
国家自然科学基金(31772856)
宁波大学王宽诚幸福基金。
文摘
使用不同浓度的海藻酸钠溶液在碱性环境下对阳离子聚丙烯酰胺(CPAM)污染膜进行清洗,测量清洗前后膜的纯水通量及孔径变化,探讨海藻酸钠对CPAM污染膜的清洗流程与清洗效果.结果表明,使用质量分数为0.05%~0.70%氢氧化钠与0.03%~0.09%海藻酸钠共混溶液对膜进行清洗,可以有效地恢复膜的纯水通量,但是直接清洗会导致膜孔径变大,膜表皮受损;而在过滤前将膜预先浸泡在质量分数为0.05%~0.10%可溶性阴离子聚合物海藻酸钠溶液中,可在膜表面形成海藻酸钠预保护层,在其过滤CPAM污水受到污染后,再采用碱性海藻酸钠溶液清洗2~3 h,就可在膜表面形成由海藻酸钠预保护层-CPAM污染层-海藻酸钠清洗层构成的可溶性的"三明治"型聚集体,在保护膜结构和过滤孔径基本不变的基础上实现清洗效果,且多次重复清洗的膜仍具有良好的过滤性能.
关键词
阳离子聚丙烯酰胺
膜污染
清洗方法
碱性海藻酸钠溶液
Keywords
cationic polyacrylamide
membrane fouling
cleaning method
alkaline sodium alginate solution
分类号
TQ028.8 [化学工程]
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职称材料
题名
单质铜颗粒掺杂的氧化亚铜复合薄膜制备及物性研究
被引量:
1
3
作者
王刘勇
机构
苏州大学物理与光电能源学部
出处
《应用物理》
2015年第11期131-136,共6页
基金
国家自然科学基金(51202153,11004145,11274237,51228201)
教育部基金(20123201120028).
文摘
本文采用脉冲激光沉积法成功制备出,Cu2O:Cu复合薄膜,Cu2O薄膜。结果表明在600℃时易获得纯Cu2O薄膜,当温度升高到700℃时,会有铜单质的出现,并通过X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM),扫描电子显微镜(SEM),探究了薄膜的生长取向和表面形貌,在STO (001)基底上,Cu2O生长取向为(002),Cu为(022)。同时利用透射电子显微镜测试了薄膜的微结构,但由于Cu颗粒或团簇尺寸太小,并不能直接被观察到。薄膜的光吸收测试表明,这种颗粒掺杂的复合薄膜较纯Cu2O薄膜,在部分波段具有更高的吸收系数。
关键词
Cu
2
O:Cu
脉冲激光沉积
颗粒掺杂
分类号
TB3 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
GC-MS/MS法测定沉积物和生物样品中邻苯二甲酸酯
被引量:
3
4
作者
时衍伟
王刘勇
张蓉蓉
张泽明
孙爱丽
史西志
机构
宁波大学海洋学院
宁波大学食品与药学学院
出处
《分析试验室》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期141-146,共6页
基金
国家自然科学基金(31372572)
浙江省公益技术研究计划(LGF21C190001)
宁波市公益性计划(202002N3066)项目资助。
文摘
采用固相萃取(SPE)和QuEChERS技术结合气相色谱-串联质谱(GC-MS/MS)技术,建立了养殖海域沉积物和生物样品中16种邻苯二甲酸酯(PAEs)定量分析方法。沉积物样品以二氯甲烷为提取溶剂,经PSA-Silica固相萃取柱净化,生物样品以乙腈为提取溶剂,经150.0 mg N-丙基乙二胺(PSA)、150.0 mg C18和150.0 mg石墨化碳黑(GCB)净化,在多反应监测模式(MRM)下进行定量分析。结果表明,16种PAEs在质量浓度0.5~300μg/L范围内具有较好的线性相关性(R^(2)>0.9990);沉积物样品中PAEs检出限(LODs)在0.10~1.54μg/kg之间,在10.0,20.0,50.0μg/L 3个添加浓度下的平均回收率为70.1%~110.2%,相对标准偏差(RSD)为2.9%~7.9%;生物样品中PAEs的LODs在0.23~0.96μg/kg范围内,在10.0,20.0,50.0μg/L 3个添加浓度下的平均回收率为71.8%~107.4%,RSD为2.6%~9.1%。方法适用于海洋环境中沉积物和生物中PAEs残留的监测。
关键词
GC-MS/MS
邻苯二甲酸酯
固相萃取
QUECHERS
Keywords
GC-MS/MS
phthalate ester
solid phase extraction
QuEChERS
分类号
O657.63 [理学—分析化学]
X832 [环境科学与工程—环境工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
FinFET芯片TEM样品制备及避免窗帘效应方法
胡康康
王刘勇
黄亚敏
郎莉莉
董业民
王
丁
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
海藻酸钠溶液对阳离子聚丙烯酰胺膜污染的清洗性能研究
张颖
吕恺
张雪艳
李文文
王刘勇
史西志
陆茵
《宁波大学学报(理工版)》
CAS
2021
0
下载PDF
职称材料
3
单质铜颗粒掺杂的氧化亚铜复合薄膜制备及物性研究
王刘勇
《应用物理》
2015
1
下载PDF
职称材料
4
GC-MS/MS法测定沉积物和生物样品中邻苯二甲酸酯
时衍伟
王刘勇
张蓉蓉
张泽明
孙爱丽
史西志
《分析试验室》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
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