MEMS扫描镜光学性能的圆片级自动检测系统设计

为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序。结合经典三角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常光照条件下,完成了MEMS扫描镜光学性能圆片级自动检测的实验。结果表明:该系统能够快速准确地同时对扫描镜的两个轴进行检测并给出结果。

运用多媒体优化组合进行地理教学

在地理教学中,运用多媒体的表现方式,即:图形、图像、动画、声音等多种信息的传播,优化教学,从而提高课堂教学效果,增强学生的学生兴趣。