TFT-LCD液晶显示行业高温高湿G线和黑团原因分析

TFT-LCD产品在高温高湿信赖性实验中的G线和黑团不良,是影响液晶显示产品品质的主要问题之一。G线与黑团会同时发生,有时也会单独发生,我们认为黑团与G线的产生有个共同原因:水汽渗入;该文重点讲述G线不良的分析内容。在显微镜下可明确G线的失效直接原因为框胶覆盖下的GOA电路走线区交换孔被腐蚀,这种腐蚀在新品以及量产阶段的信赖性实验中都经常发生。部分不良品在切割边可看到明显的破损痕迹,我们认为是由于外力作用下边框密封性变差而导致水汽渗入的。但大部分失效品在切割边见不到明显异常,失效分析难度较大,一直困扰着液晶显示行业的各大厂商。近年来,我们一直致力于此类问题的分析研究,最终明确了水汽渗入的路径,建立了失效模型,并给出了一些合理的改善建议。其中一些改善措施已经实施到本公司产品上,结果令人满意。

一种两叠层结构TFT-LCD的端子腐蚀研究

TFT-LCD产品的腐蚀问题是影响产品品质的主要问题之一,该文研究的腐蚀与一种新型的叠层设计有强相关。这种腐蚀在新的叠层设计应用以前没有出现过,且在新产品上只出现在叠层位置。我们通过对腐蚀位置大量的聚焦离子束(focused ion beam,FIB)分析,建立了失效模型:该腐蚀与两层金属(M3、M2)之间距离d有强相关,d值较小时绝缘膜(PA2)不能对M3金属形成有效的保护,在高温高湿环境下M3金属易被腐蚀。另外,该项目创新了一种通过泡酸验证产品抗腐蚀性能的方法,相比RA实验,大大缩短了验证时间,在该项目中也使用该方法对腐蚀模型的准确性进行验证。基于腐蚀的失效模型,我们对d值相关的工艺参数进行了优化调整,调整后该模式腐蚀未再出现,产品品质得到提升。