克服光标阅读机在汉字操作系统下误码率高的方法

通过对汉字操作系统的分析，找出了光标阅读机用在汉字操作系统下误码率高的原因，并指出了解决的方法。

电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正

本文介绍了我校研制的矢量扫描电子束曝光机中，扫描场非正交性畸变的校正情况，该机器的偏转系统为内透镜双磁偏转方式。

电子束曝光机工作台吊装结构的静态特性研究

正在研制的激光定位吊装结构工作台系统是电子束曝光机的主要组成部分。本文概述了工作台吊装结构的特点,用有限元法建立了吊装结构的三维实体力学模型,在理论上对其进行了静态特性的分析与计算,并用激光散斑法进行了实验验证,设计了工作台装配与调试的工艺支架。理论计算和实验分析充分证明工作台吊装结构能够满足电子束曝光机工作台亚微米定位精度的要求,具有独特的优越性。