基板玻璃干燥技术应用研究

在基板玻璃加工工序中,清洗和干燥是极其重要的步骤。通过论述目前玻璃干燥过程中干燥机理、干燥特点、干燥局限,针对基板玻璃干燥工艺中存在的问题,提出改进方向。

减少玻璃粉产生的对策研究

本文以7.5代液晶基板加工过程中影响产品品质的一个关键因素“玻璃粉”为中心,阐述了如何减少基板在加工过程中产生的玻璃粉,将因玻璃粉造成的不良率控制在一个可控的范围内。