一种采用TP型分光核心的动态干涉仪

为了消除Michelon测量光路中PBS胶合层所引入的寄生条纹误差,提出了一种以TP(Twin-PBS)结构为分光核心的动态干涉光路。结构以Mach-Zehnder光路为起点,融合同步移相的偏振光学需求、开放的外部测量臂需求、紧凑化与调校便利性需求以及测试光束和参考光束只在PBS内的镀膜面进行分光的需求。采用琼斯矩阵构建了偏振光传输模型,通过Zemax等软件的仿真模拟,对新式光路进行了紧凑化设计和调校工艺流程设计,压缩了调校步骤。最后利用配置光源组件、成像组件、模块化光路与偏振CCD构成的TP型动态干涉仪对三反系统进行了镀膜前预测量,实现了(4%);极弱反射光下的精密测量。