密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件

密封器件氦质谱细检漏包括压氦法（即背压法）和预充氦法。对于压氦法，通常靠粗检鉴别是否有大漏孔，但候检时间不可过长，以免可能存在的大漏孔处于分子流状态，不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式，以便既避免漏检又做好被检器件表面的净化工作。预充氦法的优点是可检测的最小等效标准漏率比压氦法低好几个量级。但用户复检时，候检时间往往已很长，如果仅靠通常的压氦法复检加粗检则发挥不出预充氦法的优点。本文改进了预充氦法：提出候检时间存在两个特征点，并给出了表达式；还对压氦法复检加粗检赋于新的重要功能，从而可以针对各种情况，用不同方法和判据，判断漏率是否合格。因此，即使候检时间已很长，仍有可能充分发挥预充氦法优点，并在漏率合格时给出被检器件的等效标准漏率。

密封器件压氦和预充氦细检漏过程中环境氦分压的影响

分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm3时,极小值点的气流仍处于分子流状态,不能靠粗检鉴别,所以需压氦法复检加粗检,才能防止漏检。另外,地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的第一特征点变大,从而扩大了需压氦法复检加粗检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检加粗检的结果。

氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间

国内外普遍认为,现行军用标准有关氦质谱细检漏的测量漏率判据,对于筛选后内部水汽含量小于5 000 ppm的要求过于宽松。但标准改进中,加严判据与检测条件之间的矛盾,使人们处于困窘的局面。作者主张以氦气交换的时间常数τHe为主要变量,以严密等级τHemin为基本判据,简化了氦质谱细检漏测量漏率公式,选择了一条可更为简捷分析和处理问题的技术途径。进而推演提出了压氦法和预充氦法的最长候检时间公式,小内腔容积时再辅以二步检测法和贮存法,可从几倍到几个数量级地拓展最长候检时间,从而破解了候检时间过短这一技术瓶颈,为降低吸附漏率创造了条件,为设计加严判据要求的压氦法和预充氦法的固定方案和灵活方案,为全面改进密封性氦质谱检测方法标准提供了理论依据,对控制密封元器件长期贮存后的内部水汽、提高其可靠性有重要意义。

多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究

密封电子元器件在长时间存放后,会存在无法检测的现象。当超过密封件细漏检测的最长候检时间时,应再次压氦,然后进行细检漏。按现行的各种规范的规定,压氦法和预充氦法再压氦的条件、程序和判据一般均与首次压氦相同,但分析表明,这样可能会使测量漏率判据出现成倍或更大的偏差,有时会出现大漏的漏检和细漏的错判。推演出多次压氦法和预充氦压氦法的测量漏率判据公式,给出了相应的压氦条件和细检漏的最长候检时间,从而更为便捷准确地解决了长候检时间下的密封性检测问题。

压氦法和预充氦法氦质谱细检漏固定方案的设计

以"氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间"为基础,分析了密封电子元器件内部水汽不超过5 000 ppm的可靠贮存寿命,确定了细漏检测的严密等级τHemin分级,界定和拓展了适用内腔容积并进行了分段,设计了压氦法和预充氦法的固定方案,验证了固定方案规定的最长候检时间可以满足去除吸附氦的要求。从而突破了国内外相关标准改进中难以或无法实施的技术瓶颈,为加严密封性判据改进相关标准,提供了可行的技术方案。

以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法

介绍了积累氦质谱检漏仪的出现和积累氦质谱组合检测方法的提出,分析了现行美国军用标准采用的以氦气为粗漏细漏示踪气体组合检测方法的局限性,介绍了改进这种方法的发明专利,指出改进后在适用严密等级τHemin和内腔容积V范围方面的局限性。论述了以氩气为粗漏示踪气体、以氦气为细漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法的优越性,给出了设计这种专利方法的逻辑思路和理论公式,指出这种方法对需要检测的τHemin和V范围,具有良好的适用性,并且提出了改进积累氦质谱检漏仪的要求。

国外对宇航用射频MEMS开关的研究

本文介绍了国外对宇航用射频MEMS开关的研究,包括其性能、结构、技术成熟度、生产制造、可靠性及环境应力。

电子元器件内部水汽含量与密封性关系的研究

通过对密封性氦质谱细检漏漏率公式和内部水汽含量公式的推演,并通过典型实例对电子元器件内部水汽含量公式进行了验证,同时对国内外军用标准漏率判据的计算标准进行了改进分析,研究发现:现行的中国和美国密封性军用标准的漏率判据普遍保证不了几个月或更长贮存和使用时间的内部水汽含量要求,这必将危及密封电子元器件的可靠性,所以建议进一步开展研究,并修改有关密封性氦质谱细检漏的中国国家军用标准。

以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法

基于内外气体交换的分子流模型,采用了以τHemin为基本判据和定量确定最长候检时间的方法,提出了以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法及其氦气含量法和氩气含量法,给出了这种方法的判据公式、压氦或压氩压力时间和最长候检时间公式或确定方法,规定了检测判定程序。内部气体质谱分析,需要时辅以粗漏检测,能够进行具有更高灵敏度和准确性的、破坏性的密封性检测,可用于鉴定检验、周期检验和认证性检测。

氦质谱细漏检测最长候检时间的定量拓展

通过论证和推演,对各种氦质谱细漏检测方法给出了当细漏氦气测量漏率判据R_(max)小于粗漏判据相应的氦气测量漏率判据R_(0max)时,定量拓展细漏检测最长候检时间的公式,并给出了保持被检件内部氦气分气压不低于0.9倍的正常空气中氦气分气压P_(HeO)的方法。

固体继电器的应用技术和发展趋势

介绍了固体继电器的工作原理、技术性能以及正在迅速扩大的应用范围和技术发展趋势,给出了"固体继电器在国内外军用装备、自动测试设备和自动控制等领域将逐步取代电磁继电器,并必将上升到继电器的主导地位"的论断。

密封性检测方法的研讨

提出了空气换气时间常数τ、氦气换气时间常数τ He；给出了空气等效标准漏 率 L、测量漏率 R1与τ、τ He的关系式；对示踪气体氦细检的固定方法、“灵活”方法进行了 计算分析，并分析了检测中大漏产品的细检误接收、质谱仪检测本底、多次细检等问题；肯 定了附加密封剂的使用；提出了修改有关密封性指标和试验方法标准的建议。

我国固体继电器的发展和应用

本文在概述固体继电器原理、特点后,重点介绍了我国固体继电器的发展和应用,并给出选择和应用须知。

去除吸附氦试验及相关标准分析

介绍了两种典型的密封样品的去除吸附氦试验,吸附氦漏率的测试是在Inficon公司Pernicka 700H型积累氦质谱粗漏细漏组合检漏仪上进行的,给出了试验数据、拟合模式和结果,进而分析了最新的美国军用标准MIL-STD-750-1/883J氦质谱检漏方法在降低被检件吸附氦漏率方面的不可检测性,并综合分析了这两项标准的其他问题,提出了全面改进的方案。

漏率公式与判据和内部气体含量的分析研究(一)

在对氦质谱细检漏漏率公式的分析和对密封腔体内外气体交换过程公式的推演中,以氦气标准漏率LHe代替等效标准漏率L,引用了氦气交换时间常数τHe,使公式更为真实和简单直观。通过漏率偏差的分析和内部气体含量的计算表明,能够应用文中的公式对密封腔体内外气体的交换过程进行工程计算。计算分析了现行某些标准中各种试验条件漏率判据所对应的τHe,着重指出漏率符合接收判据并不能有效保证内部水汽含量要求。讨论了这些标准中进行的改进、存在的密封性等级及进一步改进的必要,并提出了建议进行研究的内容。

NASA《密封性检测现状》研究报告读评

通过对2013年美国航空航天局电子元器件和封装部研究报告《密封性检测现状》的解读和评述,指出加严宇航高可靠电子元器件密封性检测判据是必要的;最新改进的美国军用标准密封性检测方法,仍存在贮存寿命的均衡性问题;一些内腔容积的密封件难以满足筛选和更长时间贮存后内部水汽不超过5 000 ppm要求的可靠性问题;高严密性检测和积累氦质谱组合检测,仍存在吸附氦的去除不能满足信噪比不小于3的可行性问题;积累氦质谱和光干涉组合检测,仍存在粗漏和细漏漏检率过高的可信性问题。指出作者已申请和正在申请的发明专利,以及已发表的文章,能为改进国内外密封性检测方法、标准和仪器,提供一套解决方案。

氦质谱细检漏国军标的修改方案

以前期研究成果为基础,计算分析了国际电工委员会标准和我国国家标准中密封严酷度分级的氦质谱细检漏测量漏率判据,提出了进行密封严密度分级的国军标修改方案及相关因素的处置方法。

气泡法粗漏检测试验及分析

介绍了使用两种不同的液体组合所进行的气泡法粗漏检测对比实验,根据检测结果使用拟合法计算等效标准漏率大值L_3,给出了两种不同液体组合最小可检等效标准漏率L_0及检出率,分析了造成漏检的原因,进而分新了不同的流体组合粗漏检测所对应的氯质谱细漏检测量长候检时间及取代氟碳化合物气泡法粗漏检测方法的必要性,提出了改进氮质谱粗漏细漏组合检测方法的建议。

静电放电敏感度标准的动向和建议

文章介绍了人体模型静电放电敏感度分级和标识的现状,近年来国内外多项标准加严要求的新动向,分析了动向的成因和仍存在的标识混淆现象,最后提出了制定一项人体模型静电放电敏感度分级和标识标准的建议。