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镀Pd Cu线键合工艺中Pd行为研究
被引量:
3
1
作者
张滨海
钱开友
+4 位作者
王德峻
从羽奇
赵健
范象泉
王家楫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期564-568,共5页
由于Cu线热导率高、电性能好、成本低,将逐渐代替传统Au线应用于IC封装。但Cu线键合也存在Cu材料本身固有特性上的局限:易氧化、硬度高及应变强度等。表面镀Pd Cu线材料的应用则提供了一种防止Cu氧化的解决方案。然而,Cu线表面的Pd层很...
由于Cu线热导率高、电性能好、成本低,将逐渐代替传统Au线应用于IC封装。但Cu线键合也存在Cu材料本身固有特性上的局限:易氧化、硬度高及应变强度等。表面镀Pd Cu线材料的应用则提供了一种防止Cu氧化的解决方案。然而,Cu线表面的Pd层很可能会参与到键合界面形成的行为中,带来新的问题,影响到Cu线键合的强度和可靠性。对镀Pd Cu线键合工艺中Pd的行为进行了系统的研究,使用了SEM,EDS等分析手段对Cu线、烧结Cu球(FAB)、键合界面等处Pd的分布状况进行了检测,结果证明Pd的空间分布随着键合工艺的进行发生了很大的变化,同时还对产生Pd分布变化的原因进行了分析和讨论。
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关键词
封装
铜线键合
镀钯层
金属间化合物
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职称材料
铜线键合Cu/Al界面金属间化合物微结构研究
被引量:
5
2
作者
刘兴杰
张滨海
+2 位作者
王德峻
从羽奇
王家楫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期880-884,共5页
由于铜线具有较高的热导率、卓越的电学性能以及较低的成本,被普遍认为将逐渐代替传统的金线而在IC封装的键合工艺中得到广泛的应用。铜线键合工艺中Cu/Al界面金属间化合物(IMC)与金线键合的Au/Al IMC生长情况有很大差别,本文针对球焊...
由于铜线具有较高的热导率、卓越的电学性能以及较低的成本,被普遍认为将逐渐代替传统的金线而在IC封装的键合工艺中得到广泛的应用。铜线键合工艺中Cu/Al界面金属间化合物(IMC)与金线键合的Au/Al IMC生长情况有很大差别,本文针对球焊键合中键合点的Cu/Al界面,将金属间化合物生长理论与分析手段相结合,研究了Cu/Al界面IMC的生长行为及其微结构。文中采用SEM测试方法,观察了IMC的形貌特点,测量并得到了IMC厚度平方正比于热处理时间的关系,计算得到了生长速率和活化能数值,并采用TEM,EDS等测试手段,进一步研究了IMC界面的微结构、成分分布及其金相结构。
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关键词
封装
铜线键合
微结构
金属间化合物
扩散
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职称材料
铜线键合的抗氧化技术研究
被引量:
2
3
作者
范象泉
王德峻
+2 位作者
从羽奇
张滨海
王家楫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期17-21,共5页
在铜线键合的过程中通入惰性保护气体,或在纯铜线表面涂覆金属钯防氧化层都可以改善铜线键合的抗氧化性能。为了评价上述两种方法对铜线键合抗氧化性能的改进情况,使用先进的材料表征方法分析不同保护气体流量情况下键合形成的金属熔球...
在铜线键合的过程中通入惰性保护气体,或在纯铜线表面涂覆金属钯防氧化层都可以改善铜线键合的抗氧化性能。为了评价上述两种方法对铜线键合抗氧化性能的改进情况,使用先进的材料表征方法分析不同保护气体流量情况下键合形成的金属熔球的形貌,金属熔球表面的氧原子数分数和表面氧化层的厚度。研究表明,保护气体流量为0.51 L/min时,可以在保证成本较低的情况下获得最佳的抗氧化效果。通过XPS和TEM分析发现,铜线表面涂覆金属钯可以延长铜线的存储寿命,降低键合界面的氧含量,提高键合的可靠性。
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关键词
引线键合
铜线
氧化
镀钯
保护气体
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职称材料
明沟在地铁深基坑排水中的辅助应用
被引量:
1
4
作者
王德峻
《现代企业》
2018年第4期72-73,共2页
随着城市发展的逐步深入,越来越多的工程建设向城市腹地延伸,不管是大型的综合体建设,还是城市综合管廊或是地下轨道等市政工程,垂直空间的利用是城市发展的必由之路。深基坑工程施工随之变得越来越重要,同时也是施工风险、施工安全的...
随着城市发展的逐步深入,越来越多的工程建设向城市腹地延伸,不管是大型的综合体建设,还是城市综合管廊或是地下轨道等市政工程,垂直空间的利用是城市发展的必由之路。深基坑工程施工随之变得越来越重要,同时也是施工风险、施工安全的重点及难点。深基坑施工的安全风险或安全事故多半又是由基坑内外的水体直接或间接造成的,多数基坑失稳的事故都是因为水体未能及时排出或不合理的下渗而造成的。
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关键词
深基坑
应用
排水
地铁
城市发展
工程施工
城市腹地
工程建设
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职称材料
IC键合铜线材料的显微力学性能研究
被引量:
1
5
作者
范象泉
钱开友
+2 位作者
王德峻
从羽奇
王家楫
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期61-64,共4页
用于IC(集成电路)的键合铜线材料具有低成本、优良的导电和导热性等优点,但其高硬度容易对铝垫和芯片造成损伤,因此对其硬度的测量是一项关键技术。纳米压痕测量技术可以方便、准确地测量铜线材料的显微硬度值和其他力学性能参数。描述...
用于IC(集成电路)的键合铜线材料具有低成本、优良的导电和导热性等优点,但其高硬度容易对铝垫和芯片造成损伤,因此对其硬度的测量是一项关键技术。纳米压痕测量技术可以方便、准确地测量铜线材料的显微硬度值和其他力学性能参数。描述了纳米压痕测量技术的原理以及对铜线材料样品进行纳米压痕测量的参数选择,进行了测量试验。结果表明,原始铜线、FAB(金属熔球)、焊点的平均硬度分别为1.46,1.51和1.65GPa,为键合铜线材料的选择和键合工艺参数的优化提供了依据。
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关键词
IC引线键合
铜线
纳米压痕
显微结构
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职称材料
关于地铁停车场的发展方向
6
作者
王德峻
侯晶晶
《现代企业》
2011年第7期40-41,共2页
在中国,停车难的问题近年越来越严重,各个城市把解决停车难的问题放在城市建设的重要位置,而地铁公司将成为城市停车场建设的生力军。停车场业务对地铁公司来说应该是一个新的领域,笔者认为对于一个新业务高起点、高目标很重要,
关键词
停车场建设
地铁公司
城市建设
新业务
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职称材料
中医治疗椎动脉型颈椎病临床研究概况
被引量:
8
7
作者
蔡晓蕾
苏志扬
+2 位作者
郭福裕
王德峻
陈能哲
《江西中医药》
2020年第11期71-73,共3页
椎动脉型颈椎病是临床常见病之一,发病率逐年升高,并趋于年轻化,中医治疗该病方法多样,各具优势。笔者从椎动脉型颈椎病的病因病机及中医疗法两方面总结了近年来中医对该病的认识及研究近况,希望为探索该病的机理与临床防治提供参考。
关键词
椎动脉型颈椎病
中医治疗
综述
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职称材料
地铁票价制定方法及案例
被引量:
4
8
作者
侯晶晶
王德峻
《现代企业》
2011年第5期71-72,共2页
在我国,地铁票价属于政府定价范围,并实行政府价格决策听证制度。票价管制的四大政策目标为:从整体长期的角度促进社会分配效率、激励地铁运营企业提高运营效率、维护运营企业发展潜力、充分考虑居民收入承受能力。一.影响票价的要素1...
在我国,地铁票价属于政府定价范围,并实行政府价格决策听证制度。票价管制的四大政策目标为:从整体长期的角度促进社会分配效率、激励地铁运营企业提高运营效率、维护运营企业发展潜力、充分考虑居民收入承受能力。一.影响票价的要素1.城市轨道交通影响客流发展的因素。以香港地铁为例。
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关键词
地铁票价
价格决策听证制度
企业发展潜力
案例
城市轨道交通
政府定价
运营效率
分配效率
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职称材料
西安地铁二号线运营初期客流特征分析
被引量:
1
9
作者
侯晶晶
王德峻
《现代企业》
2014年第2期61-62,共2页
随着社会经济发展与城市规模的扩张,城市空间布局与结构急剧调整,居民活动日益频繁,城市交通需求快速增长,进而产生诸如交通拥堵、交通事故和环境污染等一系列问题.为缓解城市交通发展的环境,越来越多的大城市把建立以大容量的快速轨道...
随着社会经济发展与城市规模的扩张,城市空间布局与结构急剧调整,居民活动日益频繁,城市交通需求快速增长,进而产生诸如交通拥堵、交通事故和环境污染等一系列问题.为缓解城市交通发展的环境,越来越多的大城市把建立以大容量的快速轨道交通系统为骨干,地面常规多类型公共交通为网络,分区私人交通方式(包括步行、自行车、摩托车和私人小汽车)为补充的多层次、多元化、立体化的客运交通网络,并充分实现各类交通方式之间有机衔接换乘的城市综合客运交通体系作为其交通的发展战略.
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关键词
地铁二号线
客流特征
运营
西安
城市规模
社会经济发展
城市空间布局
城市交通发展
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职称材料
重绕冰箱压缩机电机绕组
10
作者
王德峻
《家用电器》
1993年第7期2-4,共3页
关键词
冰箱
压缩机
电机
绕组
原文传递
题名
镀Pd Cu线键合工艺中Pd行为研究
被引量:
3
1
作者
张滨海
钱开友
王德峻
从羽奇
赵健
范象泉
王家楫
机构
复旦大学材料科学系
日月光封装测试有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期564-568,共5页
文摘
由于Cu线热导率高、电性能好、成本低,将逐渐代替传统Au线应用于IC封装。但Cu线键合也存在Cu材料本身固有特性上的局限:易氧化、硬度高及应变强度等。表面镀Pd Cu线材料的应用则提供了一种防止Cu氧化的解决方案。然而,Cu线表面的Pd层很可能会参与到键合界面形成的行为中,带来新的问题,影响到Cu线键合的强度和可靠性。对镀Pd Cu线键合工艺中Pd的行为进行了系统的研究,使用了SEM,EDS等分析手段对Cu线、烧结Cu球(FAB)、键合界面等处Pd的分布状况进行了检测,结果证明Pd的空间分布随着键合工艺的进行发生了很大的变化,同时还对产生Pd分布变化的原因进行了分析和讨论。
关键词
封装
铜线键合
镀钯层
金属间化合物
Keywords
packaging
copper wire bonding
Pd coating
intermetallic compound(IMC)
分类号
TN305.93 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
铜线键合Cu/Al界面金属间化合物微结构研究
被引量:
5
2
作者
刘兴杰
张滨海
王德峻
从羽奇
王家楫
机构
复旦大学材料科学系
日月光封装测试有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期880-884,共5页
文摘
由于铜线具有较高的热导率、卓越的电学性能以及较低的成本,被普遍认为将逐渐代替传统的金线而在IC封装的键合工艺中得到广泛的应用。铜线键合工艺中Cu/Al界面金属间化合物(IMC)与金线键合的Au/Al IMC生长情况有很大差别,本文针对球焊键合中键合点的Cu/Al界面,将金属间化合物生长理论与分析手段相结合,研究了Cu/Al界面IMC的生长行为及其微结构。文中采用SEM测试方法,观察了IMC的形貌特点,测量并得到了IMC厚度平方正比于热处理时间的关系,计算得到了生长速率和活化能数值,并采用TEM,EDS等测试手段,进一步研究了IMC界面的微结构、成分分布及其金相结构。
关键词
封装
铜线键合
微结构
金属间化合物
扩散
Keywords
package
copper wire bonding
microstructure
intermetallic compound (IMC)
diffusion
分类号
TN305.96 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
铜线键合的抗氧化技术研究
被引量:
2
3
作者
范象泉
王德峻
从羽奇
张滨海
王家楫
机构
复旦大学材料科学系
日月光封装测试(上海)有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期17-21,共5页
文摘
在铜线键合的过程中通入惰性保护气体,或在纯铜线表面涂覆金属钯防氧化层都可以改善铜线键合的抗氧化性能。为了评价上述两种方法对铜线键合抗氧化性能的改进情况,使用先进的材料表征方法分析不同保护气体流量情况下键合形成的金属熔球的形貌,金属熔球表面的氧原子数分数和表面氧化层的厚度。研究表明,保护气体流量为0.51 L/min时,可以在保证成本较低的情况下获得最佳的抗氧化效果。通过XPS和TEM分析发现,铜线表面涂覆金属钯可以延长铜线的存储寿命,降低键合界面的氧含量,提高键合的可靠性。
关键词
引线键合
铜线
氧化
镀钯
保护气体
Keywords
wire bonding
copper wire
oxidation
palladium plated
forming gas
分类号
TN305.93 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
明沟在地铁深基坑排水中的辅助应用
被引量:
1
4
作者
王德峻
机构
西安市地下铁道有限责任公司
出处
《现代企业》
2018年第4期72-73,共2页
文摘
随着城市发展的逐步深入,越来越多的工程建设向城市腹地延伸,不管是大型的综合体建设,还是城市综合管廊或是地下轨道等市政工程,垂直空间的利用是城市发展的必由之路。深基坑工程施工随之变得越来越重要,同时也是施工风险、施工安全的重点及难点。深基坑施工的安全风险或安全事故多半又是由基坑内外的水体直接或间接造成的,多数基坑失稳的事故都是因为水体未能及时排出或不合理的下渗而造成的。
关键词
深基坑
应用
排水
地铁
城市发展
工程施工
城市腹地
工程建设
分类号
U231.3 [交通运输工程—道路与铁道工程]
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职称材料
题名
IC键合铜线材料的显微力学性能研究
被引量:
1
5
作者
范象泉
钱开友
王德峻
从羽奇
王家楫
机构
复旦大学材料科学系
日月光封装测试(上海)有限公司
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期61-64,共4页
文摘
用于IC(集成电路)的键合铜线材料具有低成本、优良的导电和导热性等优点,但其高硬度容易对铝垫和芯片造成损伤,因此对其硬度的测量是一项关键技术。纳米压痕测量技术可以方便、准确地测量铜线材料的显微硬度值和其他力学性能参数。描述了纳米压痕测量技术的原理以及对铜线材料样品进行纳米压痕测量的参数选择,进行了测量试验。结果表明,原始铜线、FAB(金属熔球)、焊点的平均硬度分别为1.46,1.51和1.65GPa,为键合铜线材料的选择和键合工艺参数的优化提供了依据。
关键词
IC引线键合
铜线
纳米压痕
显微结构
Keywords
IC wire bonding
copper wire
nanoindentation
microstructure
分类号
TM206 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
关于地铁停车场的发展方向
6
作者
王德峻
侯晶晶
机构
西安地下铁道有限责任公司
出处
《现代企业》
2011年第7期40-41,共2页
文摘
在中国,停车难的问题近年越来越严重,各个城市把解决停车难的问题放在城市建设的重要位置,而地铁公司将成为城市停车场建设的生力军。停车场业务对地铁公司来说应该是一个新的领域,笔者认为对于一个新业务高起点、高目标很重要,
关键词
停车场建设
地铁公司
城市建设
新业务
分类号
F299.24 [经济管理—国民经济]
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职称材料
题名
中医治疗椎动脉型颈椎病临床研究概况
被引量:
8
7
作者
蔡晓蕾
苏志扬
郭福裕
王德峻
陈能哲
机构
德化县医院康复科
南安市洪濑中心卫生院
出处
《江西中医药》
2020年第11期71-73,共3页
基金
泉州市科技计划项目(2017Z002)。
文摘
椎动脉型颈椎病是临床常见病之一,发病率逐年升高,并趋于年轻化,中医治疗该病方法多样,各具优势。笔者从椎动脉型颈椎病的病因病机及中医疗法两方面总结了近年来中医对该病的认识及研究近况,希望为探索该病的机理与临床防治提供参考。
关键词
椎动脉型颈椎病
中医治疗
综述
分类号
R274.9 [医药卫生—中西医结合]
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职称材料
题名
地铁票价制定方法及案例
被引量:
4
8
作者
侯晶晶
王德峻
机构
西安市地下铁道有限责任公司
出处
《现代企业》
2011年第5期71-72,共2页
文摘
在我国,地铁票价属于政府定价范围,并实行政府价格决策听证制度。票价管制的四大政策目标为:从整体长期的角度促进社会分配效率、激励地铁运营企业提高运营效率、维护运营企业发展潜力、充分考虑居民收入承受能力。一.影响票价的要素1.城市轨道交通影响客流发展的因素。以香港地铁为例。
关键词
地铁票价
价格决策听证制度
企业发展潜力
案例
城市轨道交通
政府定价
运营效率
分配效率
分类号
F572 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
西安地铁二号线运营初期客流特征分析
被引量:
1
9
作者
侯晶晶
王德峻
机构
西安市地下铁道有限责任公司
出处
《现代企业》
2014年第2期61-62,共2页
文摘
随着社会经济发展与城市规模的扩张,城市空间布局与结构急剧调整,居民活动日益频繁,城市交通需求快速增长,进而产生诸如交通拥堵、交通事故和环境污染等一系列问题.为缓解城市交通发展的环境,越来越多的大城市把建立以大容量的快速轨道交通系统为骨干,地面常规多类型公共交通为网络,分区私人交通方式(包括步行、自行车、摩托车和私人小汽车)为补充的多层次、多元化、立体化的客运交通网络,并充分实现各类交通方式之间有机衔接换乘的城市综合客运交通体系作为其交通的发展战略.
关键词
地铁二号线
客流特征
运营
西安
城市规模
社会经济发展
城市空间布局
城市交通发展
分类号
F572.88 [经济管理—产业经济]
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职称材料
题名
重绕冰箱压缩机电机绕组
10
作者
王德峻
出处
《家用电器》
1993年第7期2-4,共3页
关键词
冰箱
压缩机
电机
绕组
分类号
TM925.203 [电气工程—电力电子与电力传动]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
镀Pd Cu线键合工艺中Pd行为研究
张滨海
钱开友
王德峻
从羽奇
赵健
范象泉
王家楫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
下载PDF
职称材料
2
铜线键合Cu/Al界面金属间化合物微结构研究
刘兴杰
张滨海
王德峻
从羽奇
王家楫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
下载PDF
职称材料
3
铜线键合的抗氧化技术研究
范象泉
王德峻
从羽奇
张滨海
王家楫
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
下载PDF
职称材料
4
明沟在地铁深基坑排水中的辅助应用
王德峻
《现代企业》
2018
1
下载PDF
职称材料
5
IC键合铜线材料的显微力学性能研究
范象泉
钱开友
王德峻
从羽奇
王家楫
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
下载PDF
职称材料
6
关于地铁停车场的发展方向
王德峻
侯晶晶
《现代企业》
2011
0
下载PDF
职称材料
7
中医治疗椎动脉型颈椎病临床研究概况
蔡晓蕾
苏志扬
郭福裕
王德峻
陈能哲
《江西中医药》
2020
8
下载PDF
职称材料
8
地铁票价制定方法及案例
侯晶晶
王德峻
《现代企业》
2011
4
下载PDF
职称材料
9
西安地铁二号线运营初期客流特征分析
侯晶晶
王德峻
《现代企业》
2014
1
下载PDF
职称材料
10
重绕冰箱压缩机电机绕组
王德峻
《家用电器》
1993
0
原文传递
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