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基于混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法
1
作者
李淑萍
林文魁
+2 位作者
王德稳
周震华
龚亚飞
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第7期475-478,共4页
提出了一种基于投影式光刻机和电子束光刻机混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法,该方法可用于制作对精度要求比较高的亚微米图形。具体的做法是将亚微米图形分解成高精度图层和普通精度图层,并将两个图层分别采用电子束直写和投影式...
提出了一种基于投影式光刻机和电子束光刻机混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法,该方法可用于制作对精度要求比较高的亚微米图形。具体的做法是将亚微米图形分解成高精度图层和普通精度图层,并将两个图层分别采用电子束直写和投影式光刻机依次在同一层光刻胶曝光后,经过一次显影得到完整图形。通过该方法不仅可以大幅减少采用电子束直写亚微米图形所需的时间,还可以有效地保证图形的线宽精度。从图形的数据处理和实验制作两个方面,详细地介绍了采用该方法在硅衬底上制作SU-8亚微米图形的过程。经SEM测试得出,本方法制作的图形尺寸精度和棱角的锐度都非常精确,可比较理想地实现设计者的设计要求。
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关键词
混合曝光技术
亚微米图形
电子束曝光
投影式光刻
SU-8
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职称材料
例析中考建模应用题
2
作者
王德稳
《中学理科(初中数理化)》
2002年第7期18-19,共2页
在近几年的中考应用题中,涌现出一类紧贴生活实际,旨在考查学生灵活应用所学数学知识,构建数学模型解决实际问题的创新试题.解这类应用题往往需要学生在陌生的情景中去理解和分析给出的有关问题,并舍去与数学无关的因素,通过抽象...
在近几年的中考应用题中,涌现出一类紧贴生活实际,旨在考查学生灵活应用所学数学知识,构建数学模型解决实际问题的创新试题.解这类应用题往往需要学生在陌生的情景中去理解和分析给出的有关问题,并舍去与数学无关的因素,通过抽象转化成相应的数学问题求解.其基本思路是:
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关键词
应用题
中考
学生
数学问题
创新试题
生活实际
考查
求解
例析
数学知识
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职称材料
智能制造新模式下的电子行业离散型智能制造的工厂模式
3
作者
王德稳
《电脑乐园》
2019年第6期476-476,共1页
在全球经济结构的深度调整下,我国的战略布局向制造强国方向发展,为了加快转变经济发展模式,使得工业转型得到推进和 升级,从而促进制造行业的快速发展,实施智能工厂建设尤为重要。因此,本文将具体探讨智能制造新模式下的电子行业离散...
在全球经济结构的深度调整下,我国的战略布局向制造强国方向发展,为了加快转变经济发展模式,使得工业转型得到推进和 升级,从而促进制造行业的快速发展,实施智能工厂建设尤为重要。因此,本文将具体探讨智能制造新模式下的电子行业离散型智能制造 的工厂模式,将智能化、数字化、信息化以及网络化运用在设计、生产、检测及管理当中,以促进制造业的发展,具体如下。
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关键词
智能制造
电子行业
离散型
工厂模式
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职称材料
整体处理 避繁就简
4
作者
王德稳
《初中数学教与学》
2002年第3期48-49,共2页
某些数学问题,若从全局着眼,整体处理,常能化繁为简,化难为易.现以近两年各省市中考试题为例,举例说明.
关键词
中学
中考
数学试题
解题方法
原文传递
优化课堂解题教学 提高学生解题能力
5
作者
王德稳
《课程教材教学研究(中教研究)》
2006年第11期40-41,共2页
关键词
解题教学
优化课堂
原文传递
题名
基于混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法
1
作者
李淑萍
林文魁
王德稳
周震华
龚亚飞
机构
苏州工业园区服务外包职业学院
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第7期475-478,共4页
基金
江苏省高等职业院校高级访问工程师计划资助项目(2013-FG012)
文摘
提出了一种基于投影式光刻机和电子束光刻机混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法,该方法可用于制作对精度要求比较高的亚微米图形。具体的做法是将亚微米图形分解成高精度图层和普通精度图层,并将两个图层分别采用电子束直写和投影式光刻机依次在同一层光刻胶曝光后,经过一次显影得到完整图形。通过该方法不仅可以大幅减少采用电子束直写亚微米图形所需的时间,还可以有效地保证图形的线宽精度。从图形的数据处理和实验制作两个方面,详细地介绍了采用该方法在硅衬底上制作SU-8亚微米图形的过程。经SEM测试得出,本方法制作的图形尺寸精度和棱角的锐度都非常精确,可比较理想地实现设计者的设计要求。
关键词
混合曝光技术
亚微米图形
电子束曝光
投影式光刻
SU-8
Keywords
mixed exposure technology
sub-micron pattern
electron beam lithography
projec-tion lithography
SU - 8
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
例析中考建模应用题
2
作者
王德稳
机构
云南
出处
《中学理科(初中数理化)》
2002年第7期18-19,共2页
文摘
在近几年的中考应用题中,涌现出一类紧贴生活实际,旨在考查学生灵活应用所学数学知识,构建数学模型解决实际问题的创新试题.解这类应用题往往需要学生在陌生的情景中去理解和分析给出的有关问题,并舍去与数学无关的因素,通过抽象转化成相应的数学问题求解.其基本思路是:
关键词
应用题
中考
学生
数学问题
创新试题
生活实际
考查
求解
例析
数学知识
分类号
G633 [文化科学—教育学]
G623 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
智能制造新模式下的电子行业离散型智能制造的工厂模式
3
作者
王德稳
机构
浙江泰鸿万立科技股份有限公司
出处
《电脑乐园》
2019年第6期476-476,共1页
文摘
在全球经济结构的深度调整下,我国的战略布局向制造强国方向发展,为了加快转变经济发展模式,使得工业转型得到推进和 升级,从而促进制造行业的快速发展,实施智能工厂建设尤为重要。因此,本文将具体探讨智能制造新模式下的电子行业离散型智能制造 的工厂模式,将智能化、数字化、信息化以及网络化运用在设计、生产、检测及管理当中,以促进制造业的发展,具体如下。
关键词
智能制造
电子行业
离散型
工厂模式
分类号
C [社会学]
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职称材料
题名
整体处理 避繁就简
4
作者
王德稳
机构
云南省罗平县富乐二中
出处
《初中数学教与学》
2002年第3期48-49,共2页
文摘
某些数学问题,若从全局着眼,整体处理,常能化繁为简,化难为易.现以近两年各省市中考试题为例,举例说明.
关键词
中学
中考
数学试题
解题方法
分类号
G634.6 [文化科学—教育学]
原文传递
题名
优化课堂解题教学 提高学生解题能力
5
作者
王德稳
机构
罗平县富乐二中
出处
《课程教材教学研究(中教研究)》
2006年第11期40-41,共2页
关键词
解题教学
优化课堂
分类号
G4 [文化科学—教育技术学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法
李淑萍
林文魁
王德稳
周震华
龚亚飞
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014
0
下载PDF
职称材料
2
例析中考建模应用题
王德稳
《中学理科(初中数理化)》
2002
0
下载PDF
职称材料
3
智能制造新模式下的电子行业离散型智能制造的工厂模式
王德稳
《电脑乐园》
2019
0
下载PDF
职称材料
4
整体处理 避繁就简
王德稳
《初中数学教与学》
2002
0
原文传递
5
优化课堂解题教学 提高学生解题能力
王德稳
《课程教材教学研究(中教研究)》
2006
0
原文传递
已选择
0
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