强激光武器系统光学总体考虑

本文从强激光武器系统的构成出发，探讨包括强弱激光的各种光束传输和控制原理。分析影响强激光入射在目标上辐照率的各种因素。描述各种分支光学系统的性能，最后就材料选择、耐强光的膜层镀制、自动聚焦等关键性技术问题作了介绍。并列表给出武器系统中各个光学组件的斯特列尔比和光效率的初步要求。

采用激光和波带板的电视对准光学系统工程研究

本文从X射线光刻自动对准特点出发,探讨采用圆形菲涅尔波带片做为标记,以激光做相干光源的电视对准原理。重点讨论其中光学系统工程问题,如总体考虑、精度分析、能量计算和均化、激光偏振态的传输和控制、激光背景噪音的抑制等。

星敏感器单星模拟光源系统

在星敏感器的标定检测中 ,通常要求提供一个模拟星 ,以便在实验室内标定星敏感器 ,从而减少大气变化的影响。模拟星的设备通常称为星模拟器 ,它们提供相对被测物体无限远的点光源作为模拟星 ,对其大小、光度 (星等值 )、光谱特性、色温类型等进行严格模拟。对实现模拟单星的研究作了详细的介绍。

0.8μm投影光刻物镜研制

分绍了０．８～１μｍ分步重复投影光刻机投影光刻物镜双远心成象原理及设计研制。所研制的ｇ线１／５精缩投影光刻物镜，其数值孔径ＮＡ＝０．４５，视场１５ｍｍ×１５ｍｍ，畸变不超过±０．１μｍ。

亚微米i线和g线投影光刻物镜研制

本文介绍了分步重复投影光刻机的i线和g线投影光刻物镜主要技术指标、设计要点、研制中解决的关键单元技术和设计试制结果。结果表明数值孔径NA＝0．42i线和NA＝0．45g线、视场15×15mm以及畸变＜±0．1μm的五倍缩小投影光刻物镜研制成功。

部分相干成象的模拟计算方法

介绍了一种模拟计算部分相干光成象的实用化方法。根据部分相干理论，推导出数值计算模型，并采用各种方法简化，减少了计算量。根据计算公式编制出了部分相干成象模拟计算软件，可模拟数值孔径、波长、相干因子、离焦、波象差、物体的线宽、光瞳的中心遮拦等因素对光刻成象质量的影响。

“恐龙”三题

观春灯 话恐龙 春节观灯,是我们民族的古老传统,由于改革开放的成功,为了庆祝这个节日,今年不少地方办了灯会,自贡市今年办的国际恐龙灯会,规模之大,灯组之多,灯艺之精美,可称盛况空前。有20多个国家送灯参展,彩灯博物馆同时揭幕。

0.35μm分步重复投影光刻物镜设计

介绍 0 .35μm分步重复投影光刻物镜的设计要点 ,包括数值孔径、结构型式的确定、材料的选择。介绍了光刻物镜设计的难点、创新点及设计结果。