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提高粉粒沉降过程中等离子体纯化能力的研究 被引量:8
1
作者 王敬义 王宇 +5 位作者 陶甫廷 陈文辉 张巍 冯信华 陶臻宇 尹盛 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期253-256,共4页
限于工艺条件 ,我们过去曾得出粉粒在等离子体中沉降时 ,提纯效果可忽略不计 ,本文经过详细的分析、计算和论证表明 ,沉降时间及提纯速率可经工艺改进而提高到使提纯效果达到决定性的地步。文中提供了计算结果、改进措施及粉粒可收集的... 限于工艺条件 ,我们过去曾得出粉粒在等离子体中沉降时 ,提纯效果可忽略不计 ,本文经过详细的分析、计算和论证表明 ,沉降时间及提纯速率可经工艺改进而提高到使提纯效果达到决定性的地步。文中提供了计算结果、改进措施及粉粒可收集的判据。这对于提高等离子体总的冶金效应和将其推向应用都具有很大的意义。 展开更多
关键词 等离子体冶金 沉降时间 提纯速率
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粉体纯化装置及工艺研究 被引量:6
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作者 王敬义 尹盛 +7 位作者 陶甫廷 吴京波 冯信华 苏睿 许淑慧 陈正强 陈文辉 罗文广 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1653-1656,共4页
根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器。工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间。实验结果表明:该设备... 根据硅粉纯化的要求,提供了一种长落程和高反应速率的冷等离体反应器。工艺参数的选择着重于增大鞘层厚度、提高反应粒子浓度和控制抽气速率,因此,能有效的提高纯化反应的速率、粉料的回收率和粉粒一次沉降的时间。实验结果表明:该设备能将纯度为99%的工业硅纯化为约99.99%的太阳级硅。 展开更多
关键词 等离子体纯化 纯化反应 表面刻蚀
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冷等离子体冶金效应研究 被引量:4
3
作者 王敬义 王宇 +3 位作者 尹盛 何笑明 冯信华 肖成章 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期35-39,共5页
实验表明 ,辉光放电产生的等离子体对硅、Ti N、Si C等材料具有明显的提纯效果 ,对其进行了讨论 ,并指出应用前景。
关键词 冷等离子体 冶金效应 材料纯化 非晶硅薄膜
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反应溅射中的溅射产额研究 被引量:4
4
作者 王敬义 何笑明 +1 位作者 王宇 陶甫廷 《微细加工技术》 2002年第2期33-37,57,共6页
分析了溅射产额的影响因素 ,并建立了产额模型。该模型能反映各种宏观工艺参数 ,便于工程应用。对钛靶的计算结果表明与实验结果相符。
关键词 反应溅射 溅射产额 离子能量
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反应溅射制备TiN薄膜的靶中毒模型研究 被引量:2
5
作者 王敬义 杨剑辉 +5 位作者 胡慧娟 陈忠财 张丽娜 李振香 王宇 王颖 《微细加工技术》 EI 1997年第1期53-59,共7页
从靶动力学和粒子输运导出了靶中毒的判据.建立的靶中毒模型能体现工艺参数对靶中毒的影响,从而对解决薄膜高速生长与组份匹配的矛盾,为设计新型无中毒反应室提供了理论依据。
关键词 反应溅射 薄膜 靶中毒 氮化钛
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反应溅射制备TiN薄膜的靶动力学研究 被引量:3
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作者 王敬义 王颖 +5 位作者 陈忠财 胡慧娟 李振香 王宇 刘凤堂 张丽娜 《微细加工技术》 1997年第1期41-46,共6页
从微观粒子的相互作用和输运出发,探讨靶溅射过程中的基元化学物理步骤,计算了溅射速率和离子能量分布,为深入研究溅射薄膜的生长速率和靶中毒奠定基础。
关键词 反应溅射 薄膜 靶动力学 氮化钛
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冷等离子体中的粉体研究
7
作者 王敬义 尹盛 +1 位作者 赵亮 赵伯芳 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A10期4022-4024,共3页
介绍了在冷等离子体中粉体研究的几个重要成果,分析了粉体在两种反应室结构中的运动、沉降时间及刻蚀状况。理论分析和实验结果表明带振动阴极的反应室在粉体表面刻蚀方面比传统阴极结构的反应室要优越得多。研究表明冷等离子体对硅粉... 介绍了在冷等离子体中粉体研究的几个重要成果,分析了粉体在两种反应室结构中的运动、沉降时间及刻蚀状况。理论分析和实验结果表明带振动阴极的反应室在粉体表面刻蚀方面比传统阴极结构的反应室要优越得多。研究表明冷等离子体对硅粉纯化具有应用前景。 展开更多
关键词 冷等离子体 粉体表面刻蚀 硅粉纯化
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从粒子输运研究靶的溅射与中毒
8
作者 王敬义 陶甫廷 +1 位作者 何笑明 尹盛 《广西工学院学报》 CAS 2001年第4期1-5,共5页
从粒子的产生、输运及表面反应出发 ,建立总的输运模型并得到靶的溅射速率和化合物的复盖度。模型中都是以宏观工艺参数及反应室结构参数表达的 ,对薄膜材料的溅射淀积技术具有重要的应用价值。
关键词 多元薄膜 溅射速率 靶中毒 粒子输运 模型 溅射淀积
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甲硅烷常压CVD淀积非晶硅研究
9
作者 王敬义 何笑明 +1 位作者 王宇 王永兴 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1991年第2期107-112,共6页
本文讨论了以甲硅烷为源,用常压CVD法(APCVD)制备非晶硅的设备改进及工艺优化,提供了一些实验结果.文中着重分析了CVD过程,讨论了在较低温度下获得高淀积速率的原因.
关键词 非晶硅 甲硅烷 APCVD 淀积 热扩散
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气相生长统一模型
10
作者 王敬义 王宇 +1 位作者 赵宁 何笑明 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1993年第5期6-10,共5页
从微观输运与化学反应动力学出发,将薄膜气相生长过程划分为五个步骤,基于对步骤的分析,得到了淀积过程的共同规律,建立了气相淀积生长速率的统一模型.代入有关参数和少数实验数据即可得到具体的实用模型.文中揭示的薄膜生长规律对于优... 从微观输运与化学反应动力学出发,将薄膜气相生长过程划分为五个步骤,基于对步骤的分析,得到了淀积过程的共同规律,建立了气相淀积生长速率的统一模型.代入有关参数和少数实验数据即可得到具体的实用模型.文中揭示的薄膜生长规律对于优选工艺方法和具体工艺参数具有参考意义. 展开更多
关键词 薄膜生长 统一模型 气相生长
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硅粉在带振动阴极反应室中的刻蚀
11
作者 王敬义 尹盛 +3 位作者 赵亮 赵伯芳 王飞 王家鑫 《中国材料科技与设备》 2007年第6期37-40,共4页
文中提供了带倾斜角振动171极的等离子体反应室及他用于刻蚀硅粉的实验结果。振动171极上硅粉的运动分析表明其在反应区滞留的时间可达数分钟之久,这就使低纯硅粉的纯化处理可一次完成。刻蚀速率模型几个关键公式的计算结果表明中性高... 文中提供了带倾斜角振动171极的等离子体反应室及他用于刻蚀硅粉的实验结果。振动171极上硅粉的运动分析表明其在反应区滞留的时间可达数分钟之久,这就使低纯硅粉的纯化处理可一次完成。刻蚀速率模型几个关键公式的计算结果表明中性高能粒子的刻蚀效果不可忽视。理论分析与实验数据大致吻合,这证明新的反应室用于粉粒表面刻蚀和纯化都大大优于立式反应室。 展开更多
关键词 等离子体纯化 粉体表面刻蚀 振动阴极
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“荣心、起搏、善后”治疗窦房性昏厥-窦性停搏6秒一例
12
作者 王敬义 《四川中医》 北大核心 2004年第3期42-43,共2页
采用“荣心、起搏、善后”三步疗法 ,针对因心肌炎、心肌病、冠心病、高血压心脏病等继发病态窦房结综合征的起搏功能或冲动传出障碍 ,用于治疗一例窦房性昏厥 -窦性停搏 6秒的患者 。
关键词 荣心 起搏 善后 窦房性昏厥-窦性停搏6秒 中医药疗法
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苓桂术甘汤结合西药治疗心律不齐
13
作者 王敬义 《四川中医》 1995年第8期27-28,共2页
心律不齐是指心脏自律性异常或激动传导障碍所致的心跳异常。其病因甚多,尤以心血管疾病所致者发病率高,治疗难度大。中医学无心律不齐这一病名,但有关心律不齐的主要症状如:心悸动、怔忡、胸闷、脉结代等中医早有认识。 苓桂术甘汤出... 心律不齐是指心脏自律性异常或激动传导障碍所致的心跳异常。其病因甚多,尤以心血管疾病所致者发病率高,治疗难度大。中医学无心律不齐这一病名,但有关心律不齐的主要症状如:心悸动、怔忡、胸闷、脉结代等中医早有认识。 苓桂术甘汤出于汉《金匮要略·痰饮咳嗽病脉证并治篇》。主要用于治疗脾胃阳虚所致的痰饮证,能温通心阳,祛痰化饮。故笔者应用该方加味治疗心律不齐属心阳不振所致者,取得了比较满意的临床近期疗效。现选三例简介于下。 例一、风湿性心肌炎 展开更多
关键词 心律不齐 苓桂术甘汤 心律失常 中西医结合治疗
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中药熏洗剂对跆拳道运动员定量负荷后血气影响的观察 被引量:19
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作者 刘林亚 王敬义 +2 位作者 理同新 徐海 杨光 《中国运动医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期505-505,共1页
关键词 中药熏洗剂 运动员 定量负荷 血气分析 运动性疲劳
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急慢性肾功衰少尿期中医治疗体会
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作者 王敬义 《四川中医》 1996年第1期8-8,共1页
急慢性肾功能衰竭类似中医的溺毒或关格,由多种疾病发展而来。少尿期发病机理,中医认为与肾之阴阳衰竭、气滞血瘀有直接关系外,尚与机体整个水液代谢系统的脏腑功能障碍密切相关。水湿毒邪不能从肾脏排泄,随血液循环到全身各组织器官,... 急慢性肾功能衰竭类似中医的溺毒或关格,由多种疾病发展而来。少尿期发病机理,中医认为与肾之阴阳衰竭、气滞血瘀有直接关系外,尚与机体整个水液代谢系统的脏腑功能障碍密切相关。水湿毒邪不能从肾脏排泄,随血液循环到全身各组织器官,可致相关脏腑功能障碍,出现相应症状。反之,相关脏腑功能障碍又不能助肾通调水道,排泄水湿毒邪,从而致病情恶化,循环往复。故肾衰少尿期的治疗是患者存亡的关键。 在少尿期由于无尿,水湿毒邪蓄积体内,上逆于肺,则肺气壅塞,肺失肃降,出现胸闷咳嗽,咯吐白色痰涎,喘息不能平卧,双肺罗音等,不能“通调水道,下输膀胱”致病情加重。如水湿毒邪影响到胃肠,致胃失和降而出现频繁呕吐、纳差腹胀,口中可闻及氨味,便秘或腹泻等症状,更加重全身衰竭。若水湿毒邪入侵于肝,致肝失疏泄则出现胁肋、季腹胀满,心烦不安,肢体麻木,或抽搐,全身肿胀而皮肤崩急,二便闭塞。月失疏泄,又不能助肾以司二便而加重病情。如水湿毒邪入侵于心、脑则出现有关心脑症状。 展开更多
关键词 肾功能衰竭 少尿 中医药疗法
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中药熏洗对运动机体血液流变学的影响 被引量:12
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作者 刘林亚 杨光 +2 位作者 理同新 徐海 王敬义 《中国组织工程研究与临床康复》 CAS CSCD 2001年第19期127-,共1页
关键词 血液流变学 血液动力学 中药熏洗 切变率 机体
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硅材料湿法提纯理论分析及工艺优化 被引量:19
17
作者 王宇 尹盛 +2 位作者 肖成章 何笑明 王敬义 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期174-180,共7页
介绍了中等规模太阳级硅粉的湿法提纯工艺,就硅粉回收率、硅粒尺寸及酸洗液浓度等重要工艺参数对杂质含量及提纯成本的影响进行了分析。讨论了高浓度酸萃取时“钝化现象”的机理并修正了理论模型。根据理论分析与实验数据进行工艺优化... 介绍了中等规模太阳级硅粉的湿法提纯工艺,就硅粉回收率、硅粒尺寸及酸洗液浓度等重要工艺参数对杂质含量及提纯成本的影响进行了分析。讨论了高浓度酸萃取时“钝化现象”的机理并修正了理论模型。根据理论分析与实验数据进行工艺优化,为大规模湿法提纯太阳级硅材料提供了重要依据。 展开更多
关键词 太阳能 湿法 提纯
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粉粒在等离子体中沉降的运动学分析 被引量:7
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作者 陶甫廷 王敬义 +5 位作者 冯信华 罗文广 张巍 陈文辉 赵宁 尹盛 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期11-14,共4页
对粉粒受力情况进行了分析 ,建立了速度方程 ,并对硅 -锗合金粉料进行了计算。为了提高沉降过程中的提纯效果 ,着重对增加沉降时间进行研究 ,提出了一些措施。
关键词 运动学 冷等离子体 冶金效应 硅-锗合金材料 提纯
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中药薰洗剂对运动机体肌力的影响 被引量:12
19
作者 刘林亚 王敬义 +2 位作者 理同新 徐海 杨光 《中国临床康复》 CSCD 2003年第11期1667-1668,共2页
目的具有行气活血、祛风湿散寒作用的中药近十味,运用现代技术制成起效快、使用方便安全的中药外用薰洗液供运动员训练后使用,旨在了解中药薰洗对运动机体肌力的影响。方法将16例跆拳道运动员随机分为对照组和用药组,分别测定安静及运... 目的具有行气活血、祛风湿散寒作用的中药近十味,运用现代技术制成起效快、使用方便安全的中药外用薰洗液供运动员训练后使用,旨在了解中药薰洗对运动机体肌力的影响。方法将16例跆拳道运动员随机分为对照组和用药组,分别测定安静及运动后的肌力。结果用药组肌力改善明显优于对照组。结论以具有祛风湿散寒、行气活血作用的中药制成的中药薰洗剂,能有效改善运动机体运动后肌力,加快肌肉力量的恢复,具有明显地消除运动性肌肉疲劳的作用。 展开更多
关键词 中药薰洗剂 运动机体 肌力 行气活血 祛风湿散寒 运动性肌肉疲劳 当归 苍术 肉桂
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一种新型廉价太阳级硅制备技术 被引量:8
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作者 赵宁 李忠 +1 位作者 李兴教 王敬义 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期57-62,共6页
介绍了一种利用辉光放电产生冷等离子体进行硅粉纯化的廉价大阳级硅制备系统,运用流体力学和低温等离子体物理学的原理对该系统中的气体流动、电场分布以及硅粉受力进行了详细的分析,建立了硅粉在该系统中的运动模型,并且对系统内硅... 介绍了一种利用辉光放电产生冷等离子体进行硅粉纯化的廉价大阳级硅制备系统,运用流体力学和低温等离子体物理学的原理对该系统中的气体流动、电场分布以及硅粉受力进行了详细的分析,建立了硅粉在该系统中的运动模型,并且对系统内硅粉运动速度进行了讨论,提出了优化冶金效果的措施。 展开更多
关键词 硅粉 提纯 等离子体 冶炼 制备 太阳能电池
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