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基于MZI结构的二氧化硅波导模式选择开关
1
作者
岳建波
孙小强
+5 位作者
王曼卓
孙朝阳
姚振涛
张越
王菲
张大明
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期181-188,共8页
设计并且制备了一种基于马赫-曾德尔干涉仪结构的二氧化硅波导模式选择开关。该器件由不对称定向耦合器及金属电极组成。通过金属电极产生的热场改变单模波导中的模式相位,实现了单模波导中E00模式向多模波导中E10模式的转换。器件采用...
设计并且制备了一种基于马赫-曾德尔干涉仪结构的二氧化硅波导模式选择开关。该器件由不对称定向耦合器及金属电极组成。通过金属电极产生的热场改变单模波导中的模式相位,实现了单模波导中E00模式向多模波导中E10模式的转换。器件采用标准CMOS工艺制备,在调制臂两侧引入空气槽,提高热场调制效率,降低开关功耗。实验结果表明,当输入E00模式时,输出端的串扰小于−17.13 dB,消光比大于16.7 dB;当输入E10模式时,输出端的串扰小于−19.84 dB,消光比大于22.5 dB。模式开关的上升时间和下降时间分别为0.7 ms和1 ms。该模式选择开关在模分复用系统中具有良好的应用前景。
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关键词
模式开关
二氧化硅波导
光波导器件
MZI
热光开关
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职称材料
题名
基于MZI结构的二氧化硅波导模式选择开关
1
作者
岳建波
孙小强
王曼卓
孙朝阳
姚振涛
张越
王菲
张大明
机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期181-188,共8页
基金
国家重点研究发展计划(No.2021YFB2800202)
文摘
设计并且制备了一种基于马赫-曾德尔干涉仪结构的二氧化硅波导模式选择开关。该器件由不对称定向耦合器及金属电极组成。通过金属电极产生的热场改变单模波导中的模式相位,实现了单模波导中E00模式向多模波导中E10模式的转换。器件采用标准CMOS工艺制备,在调制臂两侧引入空气槽,提高热场调制效率,降低开关功耗。实验结果表明,当输入E00模式时,输出端的串扰小于−17.13 dB,消光比大于16.7 dB;当输入E10模式时,输出端的串扰小于−19.84 dB,消光比大于22.5 dB。模式开关的上升时间和下降时间分别为0.7 ms和1 ms。该模式选择开关在模分复用系统中具有良好的应用前景。
关键词
模式开关
二氧化硅波导
光波导器件
MZI
热光开关
Keywords
Mode switch
Silica waveguide
Optical waveguide
MZI
Thermo-optic switch
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MZI结构的二氧化硅波导模式选择开关
岳建波
孙小强
王曼卓
孙朝阳
姚振涛
张越
王菲
张大明
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
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