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氧化法在石英衬底上制备氧化钒薄膜及氧化过程和性能研究
1
作者
王权康
叶勤
《科学技术与工程》
北大核心
2012年第17期4069-4072,共4页
采用直流溅射法在石英衬底上沉积不同厚度的金属钒(V)膜,在空气氛围中进行不同温度热氧化处理获得性能最佳的退火温度和薄膜厚度。用X射线衍射仪(XRD),傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线光电子能谱仪分别研究了薄膜的晶体结构,红外透...
采用直流溅射法在石英衬底上沉积不同厚度的金属钒(V)膜,在空气氛围中进行不同温度热氧化处理获得性能最佳的退火温度和薄膜厚度。用X射线衍射仪(XRD),傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线光电子能谱仪分别研究了薄膜的晶体结构,红外透射性和表面组分。结果表明:厚度约为100 nm的金属钒膜在空气中370°C下氧化60 min制得VO2含量较高,相变温度45℃,热滞宽度约10℃,高低温光透过率变化41%的氧化钒薄膜。
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关键词
氧化钒薄膜
磁控溅射
氧化过程
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职称材料
薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响
被引量:
6
2
作者
张俊双
叶勤
+1 位作者
曾富强
王权康
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期45-48,共4页
采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有...
采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,沿c轴择优取向生长;在可见光范围内,薄膜平均透过率约为80%;随着薄膜厚度的增加和工作压强的降低,薄膜的电阻率呈下降趋势;得到的薄膜最低方块电阻为7.5Ω/□。
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关键词
磁控溅射
AZO导电薄膜
薄膜厚度
工作压强
光电性能
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职称材料
热氧化法制备二氧化钒薄膜及其相变温度研究
被引量:
7
3
作者
曾富强
叶勤
+2 位作者
张俊双
王权康
李仕萍
《真空》
CAS
北大核心
2011年第2期22-24,共3页
采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(XPS)分析氧化温度对薄膜的微观结构、光学透过率、相变...
采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(XPS)分析氧化温度对薄膜的微观结构、光学透过率、相变温度及其组分的影响。结果表明:金属V膜在空气中400℃热氧化1 h得到相变温度约为50℃和热滞宽度约10℃的二氧化钒薄膜。
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关键词
二氧化钒薄膜
热氧化
磁控溅射
相变温度
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职称材料
题名
氧化法在石英衬底上制备氧化钒薄膜及氧化过程和性能研究
1
作者
王权康
叶勤
机构
暨南大学物理系
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2012年第17期4069-4072,共4页
基金
广东省自然科学基金(s2011010002575)资助
文摘
采用直流溅射法在石英衬底上沉积不同厚度的金属钒(V)膜,在空气氛围中进行不同温度热氧化处理获得性能最佳的退火温度和薄膜厚度。用X射线衍射仪(XRD),傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线光电子能谱仪分别研究了薄膜的晶体结构,红外透射性和表面组分。结果表明:厚度约为100 nm的金属钒膜在空气中370°C下氧化60 min制得VO2含量较高,相变温度45℃,热滞宽度约10℃,高低温光透过率变化41%的氧化钒薄膜。
关键词
氧化钒薄膜
磁控溅射
氧化过程
Keywords
VO2 films oxidation process magnetron sputtering
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响
被引量:
6
2
作者
张俊双
叶勤
曾富强
王权康
机构
暨南大学物理系
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期45-48,共4页
基金
广东省科技计划项目(2005B10201055)
广州市科技计划项目(2005Z3-D0041)
文摘
采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,沿c轴择优取向生长;在可见光范围内,薄膜平均透过率约为80%;随着薄膜厚度的增加和工作压强的降低,薄膜的电阻率呈下降趋势;得到的薄膜最低方块电阻为7.5Ω/□。
关键词
磁控溅射
AZO导电薄膜
薄膜厚度
工作压强
光电性能
Keywords
RF magnetron sputtering, AZO thin films, film thickness, working pressure, electrical and optical properties
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
热氧化法制备二氧化钒薄膜及其相变温度研究
被引量:
7
3
作者
曾富强
叶勤
张俊双
王权康
李仕萍
机构
暨南大学物理系
暨南大学光电工程系
出处
《真空》
CAS
北大核心
2011年第2期22-24,共3页
文摘
采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(XPS)分析氧化温度对薄膜的微观结构、光学透过率、相变温度及其组分的影响。结果表明:金属V膜在空气中400℃热氧化1 h得到相变温度约为50℃和热滞宽度约10℃的二氧化钒薄膜。
关键词
二氧化钒薄膜
热氧化
磁控溅射
相变温度
Keywords
VO2 films
thermal oxidation
magnetron sputtering
phase transition temperature
分类号
O484 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧化法在石英衬底上制备氧化钒薄膜及氧化过程和性能研究
王权康
叶勤
《科学技术与工程》
北大核心
2012
0
下载PDF
职称材料
2
薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响
张俊双
叶勤
曾富强
王权康
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
6
下载PDF
职称材料
3
热氧化法制备二氧化钒薄膜及其相变温度研究
曾富强
叶勤
张俊双
王权康
李仕萍
《真空》
CAS
北大核心
2011
7
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职称材料
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