小功率微波微等离子体源的集成研究

提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。

基于LED扩展光源组合透镜的设计方法

针对实现不同配光的LED光学设计问题,基于扩展光源,构建组合透镜照明系统,实现多种配光。首先根据snell折射定律计算出一级初始透镜模型,并利用贝塞尔算法结合最小阻尼二乘法优化初始模型,实现光线经一级透镜准直出射。以一级出射的准直光作为二级透镜的入射光源,精确计算出二级透镜的微结构模型。通过改变微结构上的不同切平面的法向斜率,最终实现不同角度的配光曲线和光斑,利用光学软件对所设计模型进行验证,仿真结果证明了该设计方法的可行性。