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Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)非晶薄膜的制备与性能研究
1
作者
辛先峰
刘林根
+6 位作者
林国强
董闯
丁万昱
张爽
王棋震
李军
万鹏
《真空》
CAS
2022年第5期1-6,共6页
非晶薄膜由于其优异的性能而被广泛研究,如不粘性和耐腐蚀性,这对于大块金属玻璃形成能力强的Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)成分来说尤为突出。本文以Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)块状金属玻璃为靶材,通过直流磁控溅射制备非晶合金薄膜,...
非晶薄膜由于其优异的性能而被广泛研究,如不粘性和耐腐蚀性,这对于大块金属玻璃形成能力强的Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)成分来说尤为突出。本文以Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)块状金属玻璃为靶材,通过直流磁控溅射制备非晶合金薄膜,研究了不同溅射功率对薄膜力学性能、不粘性、耐蚀性和表面粗糙度的影响。结果表明,在磁控溅射功率为75~165W的范围内,可以获得高质量的非晶态薄膜,其硬度达到~9.2GPa,弹性模量~164GPa,硬弹性比~0.055,自腐蚀电流密度~1.16μA·cm^(-2),自腐蚀电位-241.27mV,最大润湿角104°。这些性能数据与文献报道的接近,硬度甚至更高,证实该薄膜具有用于不粘和抗腐蚀方面的良好潜力。
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关键词
ZR基非晶合金
薄膜
磁控溅射
不粘性
耐蚀性
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职称材料
题名
Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)非晶薄膜的制备与性能研究
1
作者
辛先峰
刘林根
林国强
董闯
丁万昱
张爽
王棋震
李军
万鹏
机构
大连理工大学
大连交通大学
佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司
出处
《真空》
CAS
2022年第5期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金(51772038,52072056)
辽宁省自然科学基金博士科研启动基金计划项目(2020-BS-208)
顺德区科技计划项目(201911220001)。
文摘
非晶薄膜由于其优异的性能而被广泛研究,如不粘性和耐腐蚀性,这对于大块金属玻璃形成能力强的Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)成分来说尤为突出。本文以Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)块状金属玻璃为靶材,通过直流磁控溅射制备非晶合金薄膜,研究了不同溅射功率对薄膜力学性能、不粘性、耐蚀性和表面粗糙度的影响。结果表明,在磁控溅射功率为75~165W的范围内,可以获得高质量的非晶态薄膜,其硬度达到~9.2GPa,弹性模量~164GPa,硬弹性比~0.055,自腐蚀电流密度~1.16μA·cm^(-2),自腐蚀电位-241.27mV,最大润湿角104°。这些性能数据与文献报道的接近,硬度甚至更高,证实该薄膜具有用于不粘和抗腐蚀方面的良好潜力。
关键词
ZR基非晶合金
薄膜
磁控溅射
不粘性
耐蚀性
Keywords
Zr-based amorphous alloy
thin film
magnetron sputtering
non-stick
corrosion resistance
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_(5)非晶薄膜的制备与性能研究
辛先峰
刘林根
林国强
董闯
丁万昱
张爽
王棋震
李军
万鹏
《真空》
CAS
2022
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