反应离子刻蚀工艺因素研究

通过大量的实验研究，介绍了反应离子刻蚀的原理，分析了不同材料反应离子刻蚀的机理和关键的工艺因素，给出了工艺参数结果。

微透镜列阵浮雕深度控制的新方法

在对材料光刻阈值特性进行研究的基础上,提出了一种可有效克服材料非线性特性影响,提高微透镜浮雕深度的新方法——基底曝光法。在曝光之前,对抗蚀剂整体施加一定量的曝光,提升抗蚀剂刻蚀基面。该方法可制作出面形均方根误差小于3%的微透镜阵列。

深浮雕连续微光学元件制作方法(英文)

提出一种连续深浮雕微光学元件的制作方法。在移动掩模的基础上经湿法显影获得光刻胶元件良好的面形 ,然后结合干法刻蚀将图形通过蚀速比放大的办法精密传递到石英片基上 ,从而使最终的元件达到设计的浮雕深度。作者对整个过程进行了考察和讨论 ,并以微棱镜为例进行了实验验证 ,为进一步制作大数值孔径连续表面微光学元件打下了技术基础。

微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究

在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果。

衍射微透镜在红外单元探测器中的应用

研究了衍射微透镜提高红外探测器探测能力的方法 ,通过实验将衍射微透镜耦合到红外单元探测器上 ,使耦合组件的响应度提高到 3.2倍、比探测率提高到 4.2倍。结果表明 :采用微透镜作光聚能器后 ,探测器光敏面面积可减少而光能利用率增加 ,探测性能提高。衍射微透镜结构小 ,有利于与探测器集成 ,其研究极具实用价值。

消色差谐衍射微透镜列阵的应用研究

本文研究菲涅耳谐衍射透镜的特性和工作条件 ,分析二元谐衍射透镜的衍射效率及制作要求 ,设计并研制了用于萨克 -哈特曼波前传感器的双波长共焦谐衍射微透镜列阵 ,得到了良好的应用效果 .

一种控制明胶材料微浮雕结构线性蚀刻深度的新方法

提出了一种用于扩展固定配方明胶版蚀刻范围的新方法—预曝光蚀刻法 ( for-exposuremothod) ,并通过对光刻过程中各参量的控制 ,最终实现了用固定配方明胶版对多种不同线性深度微浮雕透镜列阵的蚀刻 ,该方法在蚀刻范围、蚀刻效果等方面都大大地优于传统的蚀刻方法 .本文通过对比预曝光蚀刻法与常用的几种蚀刻方法 ,详尽的阐述了预曝光蚀刻法的原理及优点 ,为深浮雕光刻工艺的进一步发展奠定了基础 .

RIE精确传递微光学三维结构于红外材料的方法

本文对红外光学材料锗的蚀刻性能、机制进行了深入的研究，在反应离子蚀刻（ＲＩＥ）实验基础上，建立了锗材料蚀刻性能与ＲＩＥ工艺参量的关系，经过大量的实验，找到了稳定蚀刻速率的方法和条件。

用反应离子刻蚀技术制作二元光学元件

介绍了利用反应离子刻蚀技术制作二元光学元件的原理和方法，给出了制作结果。

紫光高均匀照明实验装置及结构设计

介绍了一种可对分步重复投影光刻机照明系统性能进行研究的紫光高均匀照明实验装置及总体结构设计。说明了在该装置的结构设计上所遇到的主要问题及解决方法。使用此装置可以对照明系统在多种不同照明条件下的照明均匀性等性能进行实验研究；并且可与光刻物镜、工件台组合成一套曝光系统，开展微细加工光刻技术的曝光实验研究。

制作石英二元衍射光学元件工艺研究

介绍在微电子加工工艺设备的基础上研究制作８位相台阶衍射光学元件（ＤＯＥ）的工艺方法。对光刻曝光、反应离子刻蚀（ＲＩＥ）等关键工艺进行了实验，得到有实用价值的工艺参数和数据。

不同加工过程中当归化学成分变化的研究进展

当归经过不同的加工会对其化学成分产生不同程度的影响。因此,就近20年来不同加工方式对当归化学成分的含量变化进行文献综述,并对当归加工过程中化学成分变化规律进行探讨,最后对当归的功能性食品及产品的开发进行展望。该文对当归药食价值的深入挖掘、品质提升、工艺创新、新产品开发等具有一定的参考价值。

用反应离子刻蚀技术制作Ge菲涅尔微透镜列阵

研究了用反应离子刻蚀技术制作Ｇｅ材料微透镜列阵的工艺过程及影响透镜列阵质量的因素，总结出“小功率、中气流、掺氧气”的优化工艺特点，制作出衍射效率高于８５％的八台阶Ｇｅ材料菲涅尔微透镜列阵．

中草药饲料添加剂对动物品质影响的研究进展

文章综述了中草药饲料添加剂对动物品质的影响,发现中草药作为饲料添加剂可以提高动物免疫功能和生长性能,改善肉品质,同时对动物抗氧化能力、胃肠发育、脂质代谢等均有一定影响,中草药饲料添加剂在促进畜禽业发展、饲料资源开发等领域具有极大的市场空间和开发潜力。

红外材料Ge的刻蚀研究

采用反应离子刻蚀技术，制作二元光学元件锗透镜阵列，对红外材料锗Ge的SF6加O2刻蚀机理和刻蚀特性进行了分析．并给出了研究结果。

燃气表电机阀泄漏检定装置及其检定方法

为提高燃气表的安全性和可靠性,对电机阀的性能参数和泄漏进行研究,提出了一种基于静态测量电机阀泄漏的方法。该方法采用了断路测量技术,使检定过程处于静态条件下,从而避开环境、气源、流动系的影响,提高了精确度;同时,本电机阀泄漏检定装置及其检定方法相比传统方法大大降低了监测时间,降低了长时操作劳动强度。

努力打造亲情式管家服务 塑造物业管理品牌

务亲情式的管家服务是根据业主的情感需求提供更细致服务的一种物业管理方式,也是增加品牌竞争力的一个重要手段。

衍射微透镜列阵的研究与应用

本文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法，在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵，衍射效率均大于８５％，在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。

连续微光学元件在光刻胶上的面形控制

介绍了连续微光学元件在光刻胶上的面形控制方法。分析了光刻胶及显影液在制作二元和连续元件中所存在的差别 ;导出具有倒易关系的浮雕深度表达式和适用的范围 ,并以此指导面形的控制 ,对光刻胶进行适当的改造以适应连续微光学元件的制作。本文还给出了实验验证 ,制作出了多种质量优良的连续微光学元件 ,并对典型元件的面形进行了评价。