1
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用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术 |
王渭源
王跃林
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《中国工程科学》
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2002 |
3
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2
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影响微电子机械系统成品率和可靠性的粘合力和摩擦力 |
王渭源
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《中国工程科学》
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2000 |
5
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3
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集成微光机电系统产业化前景 |
王渭源
王跃林
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《世界产品与技术》
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2000 |
1
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4
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微分和表观静摩擦系数的表式 |
王渭源
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《中国工程科学》
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2001 |
0 |
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5
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无源电悬浮原理及其实验研究 |
何国鸿
陈抗生
谭淞生
王渭源
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《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1995 |
4
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6
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一种新型微机械陀螺的研究 |
熊斌
黄小振
王跃林
王渭源
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《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
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2002 |
2
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7
|
金属镍微型静电马达的初步研制 |
王添平
王效东
解健芳
谭淞生
王渭源
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
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1995 |
2
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8
|
低温SDB技术研究及硅表面吸附态的影响 |
焦继伟
陆德仁
王渭源
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1994 |
2
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9
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采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析 |
张健
沈德新
王渭源
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1997 |
2
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10
|
薄型压电超声马达定子中旋转波形成机理初探 |
张健
沈德新
王渭源
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《压电与声光》
CSCD
北大核心
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1997 |
2
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11
|
变面积结构微机械电容式加速度传感器 |
李宝清
陆德仁
王渭源
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《中国工程科学》
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2000 |
5
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12
|
微型压电超声马达定子表面振动特性分析 |
张健
沈德新
卢建国
王渭源
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《压电与声光》
CSCD
北大核心
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1998 |
1
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13
|
反应离子深刻蚀(RIE)技术的研究 |
孙承龙
戈肖鸿
王渭源
姜建东
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《传感器世界》
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1996 |
6
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14
|
微机械加工中的RIE技术 |
孙承龙
王德宁
王渭源
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《传感器技术》
CSCD
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1992 |
1
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15
|
金刚石高成核选择比图形化技术 |
王效东
毛敏耀
王渭源
|
《微细加工技术》
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1998 |
5
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16
|
绝压式BESOI负压传感器研制 |
李金华
孙慷
蒋美萍
周倜
冒建军
焦继传
陆德仁
王渭源
|
《传感技术学报》
CAS
CSCD
|
1995 |
0 |
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17
|
SI GaAS中S^+注入的电学特性 |
夏冠群
关安民
耿海阳
王渭源
|
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1989 |
0 |
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18
|
金刚石薄膜选择生长技术 |
王效东
毛敏耀
杨艺榕
王渭源
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《仪表技术与传感器》
EI
CSCD
北大核心
|
1998 |
0 |
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19
|
微系统进展与我院微系统发展战略思考 |
封松林
王渭源
王跃林
刘海涛
祝向荣
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《中国科学院院刊》
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2003 |
0 |
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20
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集成微光机电系统前沿 |
王跃林
王渭源
|
《世界产品与技术》
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2000 |
1
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