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生态地质调查方法与评价体系研究——以京西“一线四矿”地区为例
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作者 李欢 郑祺恺 +4 位作者 王颖 张沁瑞 王立发 黄勇 陈喜友 《城市地质》 2024年第1期53-62,共10页
生态地质作为一门新兴交叉学科,诸多学者对其研究内容、工作思路、技术手段、服务目标等进行了探索。以京西“一线四矿”为研究对象,阐述了以服务于生态保护和修复为目标的生态地质调查总体思路和工作方法,建立了生态地质分区评价指标... 生态地质作为一门新兴交叉学科,诸多学者对其研究内容、工作思路、技术手段、服务目标等进行了探索。以京西“一线四矿”为研究对象,阐述了以服务于生态保护和修复为目标的生态地质调查总体思路和工作方法,建立了生态地质分区评价指标体系。研究结果表明:生态地质分区评价能够直观反映生态地质本底特征,是生态地质条件优劣的直接表现;“地理+地质+生态”三要素融合的生态地质分区评价模式,建立了1个目标层、3个准则层、10个指标层的评价指标体系,其中地理环境权重0.1226,地质环境权重0.6011,生态环境权重0.2763。以地质建造为分类单元,地表基质层支撑力由强到弱分别是中性侵入岩建造、陆源碎屑岩建造、中性喷出岩建造、基性喷出岩建造、碳酸盐岩建造。京西“一线四矿”地区(287 km^(2))生态地质条件良好区面积105.9 km^(2),占比36.9%;一般区面积78.7 km^(2),占比27.4%;较差区面积102.4 km^(2),占比35.7%。在京西“一线四矿”及周边区域协同发展概念规划总体策划范围(99 km^(2)),圈定出乔木生长适宜区面积58.6 km^(2),灌木生长适宜区面积40.4 km^(2)。 展开更多
关键词 生态地质 评价体系 地表基质层 地表覆盖层 植被恢复与保育 京西“一线四矿”
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宽带pin二极管单刀双掷开关的设计与实现 被引量:7
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作者 王立发 杨瑞霞 +1 位作者 吴景峰 贾英茜 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期238-241,共4页
采用两个pin二极管设计、仿真,制作了一个8~20 GHz并联结构的高功率容量的单刀双掷开关。首先通过采用一个新的电路结构,该电路结构除了传统的并联pin单刀双掷开关结构外,还有微带线匹配电路部分,克服了并联结构单刀双掷开关难以实现... 采用两个pin二极管设计、仿真,制作了一个8~20 GHz并联结构的高功率容量的单刀双掷开关。首先通过采用一个新的电路结构,该电路结构除了传统的并联pin单刀双掷开关结构外,还有微带线匹配电路部分,克服了并联结构单刀双掷开关难以实现大的带宽的缺点。然后选择合适的二极管,根据其参数,建立开路、短路等效电路模型;利用Ansoft Designer软件对电路进行了仿真和优化。最后根据优化结果制作并测试了单刀双掷开关。该单刀双掷开关插入损耗在频率8~20 GHz内小于1.7 dB,在频率8~15 GHz内小于1.5 dB;开关隔离度在整个频带内大于21 dB;在14 GHz耐功率容量大于10 W(CW)。 展开更多
关键词 PIN二极管 单刀双掷开关 插入损耗 隔离度 宽带
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硬盘盘片结构特点及NiP基板CMP研究 被引量:2
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作者 王立发 刘玉岭 +2 位作者 陈景 武亚红 马振国 《微纳电子技术》 CAS 2007年第10期964-968,共5页
分析了硬盘盘片的结构特点及硬盘基板的作用。在超净实验室中,通过调节氧化剂的含量,对硬盘基板进行了化学机械抛光。分析了不同氧化剂的含量对硬盘基板抛光速率的影响。对抛光后的硬盘基板进行了检测。抛光后的硬盘基板的粗糙度基本达... 分析了硬盘盘片的结构特点及硬盘基板的作用。在超净实验室中,通过调节氧化剂的含量,对硬盘基板进行了化学机械抛光。分析了不同氧化剂的含量对硬盘基板抛光速率的影响。对抛光后的硬盘基板进行了检测。抛光后的硬盘基板的粗糙度基本达到厂家的要求。对有可能造成硬盘基板划伤的原因进行了分析研究,为下一步解决划伤问题的实验提供了理论依据。 展开更多
关键词 硬盘 化学机械抛光 粗糙度 镀磷化镍铝盘
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北京市永定河地下水库水资源储蓄能力研究 被引量:9
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作者 王立发 邢国章 +1 位作者 江剑 郝奇琛 《城市地质》 2013年第1期18-22,31,共6页
北京市永定河冲洪积扇中上部,具备建设地下水库的基本条件。本文在确定永定河地下水库水资源人工补给方式的基础上,分析了各方式的入渗能力,提出了地下水库的人工补给方案,利用地下水数值模拟的预测结果和有效储水率计算公式,首次研究... 北京市永定河冲洪积扇中上部,具备建设地下水库的基本条件。本文在确定永定河地下水库水资源人工补给方式的基础上,分析了各方式的入渗能力,提出了地下水库的人工补给方案,利用地下水数值模拟的预测结果和有效储水率计算公式,首次研究了地下水库的储水能力,分析了永定河地下水库的水资源补给效果。结果表明,永定河地下水库水资源人工补给能力最大可达18.93m^3/s,回灌地表水2.42×108m^3的情况下地下水位最大回升32m,地下水储存量增加2.09×108m^3,回灌后1年和5年的有效蓄水率分别为78.6%和46.8%,北京永定河地下水库具有较好水资源回灌能力、储存能力,地下水人工调蓄能够起到明显的效果。 展开更多
关键词 永定河地下水库 地下水人工补给 回灌能力 储存能力
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一种X波段瓦片式T/R组件的设计与实现 被引量:3
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作者 王立发 《信息与电脑》 2017年第8期183-185,共3页
应用GeSi幅相多功能芯片、GaN多功能芯片,设计制作了一种X波段双通道瓦片式T/R组件,组件工作频率为8.5~10.5GHz。组件采用BGA(Ball Grid Array)球的三维高密度集成技术使微波多层基板之间实现了三维垂直互联。充分考虑腔体效应、芯片的... 应用GeSi幅相多功能芯片、GaN多功能芯片,设计制作了一种X波段双通道瓦片式T/R组件,组件工作频率为8.5~10.5GHz。组件采用BGA(Ball Grid Array)球的三维高密度集成技术使微波多层基板之间实现了三维垂直互联。充分考虑腔体效应、芯片的级间匹配问题,利用芯片的S参数、三维垂直互联模型,应用仿真软件对T/R组件进行了仿真。采用SMT工艺、MCM工艺,合理设置温度梯度,对组件进行了装配、测试,测试结果与仿真数据有较好的拟合。接收支路噪声系数小于3.5dB,接收增益大于27.5dB,发射支路的输出脉冲功率大于32.5dBm,T/R组件6位移相、6位衰减,移相均方根误差小于3.4°,衰减幅度均方根误差小于0.8dB。组件尺寸为30mm×20mm×2.5mm(微波传输方向20mm)。 展开更多
关键词 X波段 T/R组件 瓦片
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地源热泵项目的经济分析及设计优化——以北京市昌平区某地源热泵改造工程为例
6
作者 王立发 江剑 栾英波 《城市地质》 2009年第2期4-9,共6页
以北京地区浅层地温能资源开发利用现状调查为基础,选取有代表性的昌平区某地源热泵供暖改造工程为实例,对地源热泵项目进行了技术、经济分析,并对地源热泵的设计方案提出了合理化建议。
关键词 地源热泵 经济分析 设计方案优化
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湖南黄沙坪多金属矿床流体包裹体研究 被引量:25
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作者 黄诚 李晓峰 +1 位作者 王立发 刘凤平 《岩石学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期4232-4244,共13页
黄沙坪多金属矿床位于南岭中段的湘东南地区,成矿斑岩主要为石英斑岩和花岗斑岩,其中钨钼矿体主要形成于岩体与碳酸盐岩接触带的矽卡岩中,铅锌矿体形成于矽卡岩外围,以及碳酸盐岩地层内的破碎带中。黄沙坪多金属矿床的成矿过程可以... 黄沙坪多金属矿床位于南岭中段的湘东南地区,成矿斑岩主要为石英斑岩和花岗斑岩,其中钨钼矿体主要形成于岩体与碳酸盐岩接触带的矽卡岩中,铅锌矿体形成于矽卡岩外围,以及碳酸盐岩地层内的破碎带中。黄沙坪多金属矿床的成矿过程可以分为与钨钼成矿有关的矽卡岩期和与锌铅(钼)成矿有关的硫化物期。早矽卡岩阶段的石榴石和阳起石中包裹体均一温度为528~〉600℃,普遍发育含石盐子晶包裹体(盐度达40%~45.5% NaCleqv)和低盐度(3.06%~4.65% NaCleqv)富气相包裹体,表现出流体不混溶现象。该阶段的流体压力大致为600~800bar,在静岩压力条件下,对应深度2.2~3.0km。晚矽卡岩阶段,白钨矿中流体包裹体以高温高盐度流体为特征,成矿温度为400~460℃,盐度为40%~45% NaCleqv,是沸腾作用下发生沉淀的,估算的流体压力大致为200~400bar,相当于静岩压力条件下0.7~1.5km的深度。而该阶段紫色萤石中流体包裹体发育以石盐子晶消失而达到均一的高盐度流体包裹体,其均一温度介于250~303℃,对应盐度介于34.7%~40.6% NaCleqv之间,估算得其最低捕获压力介于1500~2000bar。金属硫化物期,与Mo矿化有关的含辉钼矿石英脉中石英流体包裹体主要以富气相和富液相包裹体共存为特征,温度范围较一致(300~340℃),而盐度变化范围很大(5.86%~16.24% NaCleqv),显示流体的沸腾作用。与Zn-Pb矿化有关的萤石中几乎全部发育Type Ia富液相包裹体,流体沸腾作用不明显,温度集中在240~160℃,盐度范围大(0.88%~16.58% NaCleqv),表明该阶段成矿流体已演变为中低温、低盐度性质的流体。成矿流体包裹体研究表明,黄沙坪多金属矿床W-Mo-Pb-Zn矿床的形成是早期高温高盐度流体向低温低盐度流体演化的产物,在成矿过程中,流体发生了多次的沸腾作用。 展开更多
关键词 流体包裹体 流体作用与演化 矽卡岩型多金属矿床 湖南黄沙坪
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连作大豆根际土及根系、冠部三要素含量变化动态的研究 被引量:11
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作者 郑桂萍 赵九洲 +1 位作者 王立发 赵萍 《大豆科学》 CSCD 北大核心 1995年第4期310-315,共6页
通过对轮、连作大豆根际土及根系、冠部氮、磷、钾三要素含量的定期测定,发现根际土中,速效氮含量连作区略高于轮作区;速效磷含量变异程度大且无规律;速效钾含量连作区低于轮作,差异达显著水平(t=4.478,t0.05=4.... 通过对轮、连作大豆根际土及根系、冠部氮、磷、钾三要素含量的定期测定,发现根际土中,速效氮含量连作区略高于轮作区;速效磷含量变异程度大且无规律;速效钾含量连作区低于轮作,差异达显著水平(t=4.478,t0.05=4.303)。根系和冠部的全氮含量连作区均高于轮作区,冠部除鼓粒期外差异均达到显著水平;全磷含量鼓粒前连作区低于轮作区,盛花期差异达显著水平,鼓粒后基本无差异;全钾含量连作区均低于轮作区,差异达极显著水平(t=8.009,t0.01=3.169)。由此认为氮素不是限制连作大豆产量的因素;连作大豆快速生长期植株缺磷,应及早补施磷肥;大豆连作可导致缺钾,应增施钾肥。 展开更多
关键词 大豆 连作 根际土 根系 冠部
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蓝宝石衬底nm级CMP技术研究 被引量:9
9
作者 马振国 刘玉岭 +2 位作者 武亚红 王立发 陈景 《微纳电子技术》 CAS 2008年第1期51-54,共4页
介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,定量确定了最佳CMP工艺。提出先以重抛过程提高蓝宝石抛光速率,然后以轻抛过程降低最终表面粗糙度的工艺路线。在配制抛光液时加入FA/OⅠ型活性剂保护S... 介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学机械抛光的因素,定量确定了最佳CMP工艺。提出先以重抛过程提高蓝宝石抛光速率,然后以轻抛过程降低最终表面粗糙度的工艺路线。在配制抛光液时加入FA/OⅠ型活性剂保护SiO2胶粒的双电子层结构。在轻抛过程之前抛光垫用原液浸泡20~30min,抛光磨料直径为20~40nm。实验最佳工艺条件下的抛光速率达231.6nm/min,粗糙度降至0.34nm。 展开更多
关键词 蓝宝石 化学机械抛光 表面状态 粗糙度
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铝合金CMP技术分析研究 被引量:6
10
作者 陈景 刘玉岭 +2 位作者 王立发 武亚红 马振国 《微纳电子技术》 CAS 2007年第11期1017-1020,1025,共5页
阐明了金属化学机械抛光的机理,同时介绍了铝合金化学机械抛光过程中存在的问题,并提出采用碱性抛光液进行实验;分析了抛光液、压力、温度、pH值参数、FA/OⅠ型活性剂对LY12铝合金圆薄片抛光过程的影响。实验表明,pH值在10.1~10.3、温... 阐明了金属化学机械抛光的机理,同时介绍了铝合金化学机械抛光过程中存在的问题,并提出采用碱性抛光液进行实验;分析了抛光液、压力、温度、pH值参数、FA/OⅠ型活性剂对LY12铝合金圆薄片抛光过程的影响。实验表明,pH值在10.1~10.3、温度控制在25~30℃、压力0.06 MPa下有利于铝合金表面完美化。在抛光后期采用单一表面活性剂溶液并且无压力自重条件下抛光,可以获得更为理想的合金表面。 展开更多
关键词 铝合金 化学机械抛光 表面粗糙度 表面活性剂
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镁合金抛光机理与CMP工艺研究 被引量:5
11
作者 陈景 刘玉岭 +3 位作者 王晓云 王立发 马振国 武亚红 《微纳电子技术》 CAS 2008年第2期114-117,122,共5页
将化学机械抛光(CMP)技术引入到镁合金片(MB2)的抛光中,打破过去镁合金以单一化学或机械加工为主的加工手段,用自制的抛光液对镁合金片进行抛光实验。结果发现,抛光液中加入双氧水易产生胶体,不利于抛光的进行,因此提出无氧化剂SiO2碱... 将化学机械抛光(CMP)技术引入到镁合金片(MB2)的抛光中,打破过去镁合金以单一化学或机械加工为主的加工手段,用自制的抛光液对镁合金片进行抛光实验。结果发现,抛光液中加入双氧水易产生胶体,不利于抛光的进行,因此提出无氧化剂SiO2碱性抛光。同时分析了镁合金的抛光机理,抛光中压力、转速和抛光液流量参数对抛光过程的影响,利用Olympus显微镜对抛光前后镁合金表面进行观察,通过合理控制工艺参数,能够得到较佳的镁合金抛光表面,远优于单一的机械加工,为镁合金抛光工艺和进一步研究抛光液的配比奠定了基础。 展开更多
关键词 镁合金(MB2) 化学机械抛光 抛光机理 抛光速率 抛光液
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湖南黄沙坪铅锌多金属矿床碳、氧、硫、铅同位素地球化学 被引量:3
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作者 张志 王京彬 +8 位作者 齐钒宇 祝新友 甄世民 李永胜 王立发 龚述清 公凡影 巩晓栋 王艳丽 《矿物学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第S1期433-434,共2页
黄沙坪铅锌矿经过40年的开采,到2004年底保有铅锌可采资源储量仅可以开采6.5年,为铅锌资源中度危机矿山。危机矿山接替资源找矿项目实施以来,新增铅锌、钨、萤石、锡资源量达大型矿床规模,钼、铁、铋等为中型规模矿床规模,表明矿山的深... 黄沙坪铅锌矿经过40年的开采,到2004年底保有铅锌可采资源储量仅可以开采6.5年,为铅锌资源中度危机矿山。危机矿山接替资源找矿项目实施以来,新增铅锌、钨、萤石、锡资源量达大型矿床规模,钼、铁、铋等为中型规模矿床规模,表明矿山的深边部找矿潜力大。 展开更多
关键词 黄沙坪铅锌矿 铅同位素 矿床规模 铅锌资源 成矿物质来源 矿山接替资源 边部找矿 同位素地球化学 危机矿山 夕卡岩
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一种X波段十六通道瓦片式T/R组件的研制
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作者 王立发 《通信电源技术》 2022年第9期10-12,共3页
基于三维垂直互连技术研制了一种X波段十六通道器件级瓦片式T/R组件。该组件采用了幅相多功能芯片、收发前端、功分器、双向放大器等可以直接贴装的器件,具有6位移相、6位衰减、功率放大、低噪声放大以及收发切换等功能。结构形式为4... 基于三维垂直互连技术研制了一种X波段十六通道器件级瓦片式T/R组件。该组件采用了幅相多功能芯片、收发前端、功分器、双向放大器等可以直接贴装的器件,具有6位移相、6位衰减、功率放大、低噪声放大以及收发切换等功能。结构形式为4×4的瓦片,提出了使用球栅阵列(Ball Grid Array,BGA)实现组件与天线的垂直互连。应用表面贴装技术(Surface Mount Technology,SMT)对T/R组件进行了装配,使用微波探针对T/R组件进行了测试。测试结果显示,在X波段内,单路发射通道的饱和输出功率大于30 dBm,接收通道增益大于20 dB,噪声系数小于3.5,移相精度≤4°,衰减精度≤1 dB,组件尺寸为64 mm×64 mm×20 mm。 展开更多
关键词 T/R组件 瓦片式 器件级 X波段 垂直互连
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ULSI铜布线阻挡层Ta CMP及抛光液的研究 被引量:3
14
作者 武亚红 刘玉岭 +2 位作者 马振国 王立发 陈景 《微纳电子技术》 CAS 2007年第12期1078-1081,共4页
ULSI多层铜互连线中,由于Cu与Ta的硬度不同带来抛光速率的差异,使得在CMP过程中各种缺陷如碟形坑缺陷、磨蚀缺陷极易发生。研究分析了H2O2、有机碱对Cu和Ta抛光速率的影响,并进行了不同抛光液配比的试验。实验证明,在温度为30℃、压力0.... ULSI多层铜互连线中,由于Cu与Ta的硬度不同带来抛光速率的差异,使得在CMP过程中各种缺陷如碟形坑缺陷、磨蚀缺陷极易发生。研究分析了H2O2、有机碱对Cu和Ta抛光速率的影响,并进行了不同抛光液配比的试验。实验证明,在温度为30℃、压力0.08 MPa,转速60 r/min、抛光液流量为160 mL/min、抛光液成份为V(H2O2)∶V(有机碱)∶V(活性剂)∶V(螯合剂)=5∶15∶15∶25时,抛光速率一致性较好,能够有效降低碟形坑的出现几率;Cu、Ta的抛光速率均为500 nm/min左右,实现了CMP的全局平坦化。 展开更多
关键词 铜互连线 阻挡层 化学机械抛光 抛光液
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电容式RF MEMS谐振器 被引量:2
15
作者 贾英茜 赵正平 +1 位作者 杨拥军 王立发 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第2期99-104,共6页
介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括梳状谐振器、梁式... 介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间。重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两个重要的结构参数对谐振器性能的影响。最后,对电容式微机械谐振器存在的问题作了总结,对其发展趋势做出展望。 展开更多
关键词 谐振器 射频 谐振频率 品质因数 电容间隙
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问题教学法的研究和应用 被引量:2
16
作者 王立发 陈霞 《黑龙江高教研究》 北大核心 1994年第6期89-90,共2页
问题教学法的研究和应用王立发,陈霞目前农业院校开设的数学课中普遍存在学生数学基础差,不重视基础课,课时紧,教师工作量大等问题。传统教学法又是以教师讲授为主,尽管讲的很认真,很投入,很精彩,却常常因学生难以理解而使课堂... 问题教学法的研究和应用王立发,陈霞目前农业院校开设的数学课中普遍存在学生数学基础差,不重视基础课,课时紧,教师工作量大等问题。传统教学法又是以教师讲授为主,尽管讲的很认真,很投入,很精彩,却常常因学生难以理解而使课堂变得呆滞,沉闷,教学效果不理想。笔... 展开更多
关键词 问题教学法 教师工作量 数学基础 教学效果 课堂教学 探索法 陈霞 螺旋式上升 讲授内容 逻辑推理能力
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一种宽带高性能T/R组件的设计 被引量:3
17
作者 王立发 秦立峰 《航空兵器》 2016年第6期25-28,共4页
介绍了一种宽带高性能T/R组件。该组件通过合理的分腔设计,减小了低频控制信号与微波信号的串扰,同时充分利用有效空间,减小了组件的尺寸。使用T型结优化键合匹配,使得组件微波信号在带内具有更小的插损及带内波动,实现更优越的传输性... 介绍了一种宽带高性能T/R组件。该组件通过合理的分腔设计,减小了低频控制信号与微波信号的串扰,同时充分利用有效空间,减小了组件的尺寸。使用T型结优化键合匹配,使得组件微波信号在带内具有更小的插损及带内波动,实现更优越的传输性能。组件采用多芯片微组装技术,减小了体积和重量,同时设计合理的装配工艺,实现了组件的可批产性。组件包含4个独立收发通道,每个通道包含6位移相及6位衰减功能,具有宽带、低噪声、高功率以及良好的幅相性能。 展开更多
关键词 分腔设计 T型结 键合匹配 独立收发 宽带高性能
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湖南黄沙坪矿区铜矿地质特征及找矿方向 被引量:8
18
作者 汪林峰 江元成 +2 位作者 王立发 曾小石 黄仁忠 《矿产勘查》 2011年第3期226-231,共6页
黄沙坪矿区存在较普遍的铜矿化,特别是2007年开展国家危机矿山接替资源找矿项目以来,在矿山深边部新发现了重要的铜矿体。文章通过对基础资料的分析整理,总结了黄沙坪矿区铜矿地质特征,并指出了铜矿资源的找矿方向。
关键词 铜矿 地质特征 黄沙坪 湖南
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北京平谷西部矿集区附近土壤重金属特征 被引量:10
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作者 王威 闫广新 +4 位作者 王立发 石国峰 邢宇鑫 吴大鹏 田志军 《矿产勘查》 2019年第2期344-351,共8页
文章以平谷西部金属矿山及矿集区为研究区,采集土壤样品169个,开展区域土壤的重金属污染研究。采用X荧光光谱法、等离子原子发射光谱法等现代测试技术,分析了土壤中重金属(As、Hg、Cd、Cr、Zn、Cu、Pb、Ni)的含量;采用ArcGIS反距离权重... 文章以平谷西部金属矿山及矿集区为研究区,采集土壤样品169个,开展区域土壤的重金属污染研究。采用X荧光光谱法、等离子原子发射光谱法等现代测试技术,分析了土壤中重金属(As、Hg、Cd、Cr、Zn、Cu、Pb、Ni)的含量;采用ArcGIS反距离权重插值数学模型和SPSS多元统计方法对土壤重金属空间分布及污染特征进行综合研究;运用潜在生态危害指数法进行生态风险评价。结果表明,研究区域土壤中重金属含量与背景值倍数大小依次是Cd>Pb>As>Zn>Cu>Hg>Ni>Cr;重金属危害程度由大到小依次为Cd>As>Pb>Hg>Cu>Ni>Zn>Cr;8种重金属潜在生态危害指数RI值在52.11~32 875.38之间。综上所述,研究区域的土壤重金属存在不同程度的风险。 展开更多
关键词 矿集区 重金属特征 潜在生态危害 北京
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基于微机械圆盘谐振器的振荡器 被引量:1
20
作者 贾英茜 赵正平 +1 位作者 杨拥军 王立发 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第6期395-398,402,共5页
基于微机械谐振器的硅振荡器是微波通信系统中的关键器件。制作了工作于径向体声学振动模态的微机械谐振器,通过分析微机械谐振器的电参数,并以此谐振器为基础进行振荡器的设计。针对圆盘形微机械谐振器工作过程中阻抗较大的问题,通过... 基于微机械谐振器的硅振荡器是微波通信系统中的关键器件。制作了工作于径向体声学振动模态的微机械谐振器,通过分析微机械谐振器的电参数,并以此谐振器为基础进行振荡器的设计。针对圆盘形微机械谐振器工作过程中阻抗较大的问题,通过多级放大来补偿信号经过谐振器时引起的衰减和相位变化。振荡器包括两部分放大电路,基本振荡回路的多级放大保证振荡器正常起振,输出多级放大保证振荡器的输出达到一定的功率。所设计的振荡器阻抗44kΩ,振荡频率143.33MHz,为大阻抗条件下振荡器的设计提供一定的参考。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 微机械谐振器 等效阻抗 振荡器
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