碳化钛气相沉积

在钢及硬质合金基体上沉积碳化物是属于CVD技术中的一种。CVD技术（Chemical Vapocun deposition化学气相沉积）最早（1893年）在美国已有人用WCl6和H2混合进行复盖得到WC,1931年用C6H5CH3和Ticl4在H2载流下得到TiC,由于生产技术条件所限直到1968年才在硬质合金上得到工业性的应用。