谐振梁加速度计测频噪声分析与实验

随着谐振梁加速度计的精度不断提升,对谐振频率的测量噪声提出了更高要求。针对高采样率下的测频噪声性能,分析了等精度测频法和连续时间标记法两种测频方法,分别以信号发生器和加速度计输出的频率信号作为输入,利用研制的FPGA测频电路开展了测频噪声实验研究。结果表明高采样率下通过串接低通滤波器能够有效抑制测频噪声,低通滤波后两种测频方法的噪声水平相近,且随着采样率的提升,测频噪声趋于常值。实验结果表明,在500 Hz更新率、串入200 Hz带宽4阶Butterworth低通滤波器的条件下,使用等精度测频法和连续时间标记法测量加速度计样机输出,室温下测得样机的零偏稳定性分别为1.03μg和1.24μg。