晶体硅表面Ag纳米颗粒形貌控制及其对黑硅性能的影响

采用湿法化学法在太阳能级Si（100）表面沉积Ag纳米颗粒，并对Ag颗粒进行了退火处理。利用扫描电子显微镜研究了不同沉积时间及退火工艺对硅片表面Ag纳米颗粒形貌的影响规律。在此基础上采用退火前后的鲰纳米颗粒辅助化学腐蚀法制备了黑硅减反射结构，并用扫描电子显微镜观察了所制备黑硅的微结构，用紫外．可见分光光度计研究了所制备黑硅的反射率。研究表明，制备的Ag颗粒为不规则片状结构，并且随鲰沉积时间的延长，Ag颗粒逐渐长大。通过对样品退火处理，Ag颗粒收缩成球状纳米颗粒。利用未退火的舷颗粒制备的黑硅呈不规则纳米线状微结构，在300～1100nm范围内平均反射率为2．7％；而利用退火后球状Ag纳米颗粒制备的黑硅则呈多孔状微结构，同样波长范围内平均反射率为14．2％。