差压法测定NEG吸氢性能

通过对定压法进行改进提出了差压法,用于测试非蒸散型吸气剂(NEG)的吸氢性能。该方法在进气室和吸气室之间安装固定流导元件,利用调节微调阀提供可控的进气流量,通过测量吸气室、进气室和参考室的压力计算NEG的吸气性能参数。利用两种NEG比较了差压法和改进的定压法所测吸气性能。结果表明:差压法测得的吸气容量比改进的定压法测得的吸气容量低0.07268 Pa·L;腔室壁面吸附能力使改进定压法的试验结果高于理论结果,而差压法的试验结果不受影响;对改进的定压法进行优化后,其计算结果与差压法的接近。差压法可以获得更准确、更有效的吸气剂性能参数,在差压法中,参考部分和试验部分同时进行测试,可缩短测试时间,减少控制进气带来的误差。

基于新型固定流导元件的定压法NEG吸气性能测试方法研究

本文采用改进的定压法测试非蒸散型吸气剂(NEG)对氢气的吸气性能,在进气室和吸气室之间安装新型固定流导元件,结合针阀,提供可控进气流量,维持吸气测试过程中吸气压力恒定。通过测量记录吸气室内部压力变化,计算获得NEG吸氢性能参数。实验使用的新型固定流导元件为玻璃-硅分子流漏孔,对25℃下H_(2)的流导约为5×10^(-12)m^(3)/s,在一个大气压下,仍能保证气体通过漏孔内流态为分子流。在数个小时的吸气测试过程中,结合漏孔,调节微调针阀,吸气压力上升约2.843×10^(-5)Pa/h。本系统可以测试不同吸气材料在不同吸气压力、工作温度下的吸气能力。测试结果表明,当吸气压力一定时,50℃左右温度下Zr-Fe吸气剂的吸氢性能最佳;当工作温度一定时,Zr-Fe吸气剂吸气压力越高,吸氢性能越好;相同测试条件下Zr-Fe吸气剂的吸氢性能优于Zr-Al吸气剂。

Ag-In共晶键合在硅-铜封接中的应用

目前在真空领域对于硅-铜封接的常用方式为Torr-Seal胶封接和玻璃粉高温烧结方式,但因其高放气率和玻璃粉污染等问题在超高真空受到限制,因此迫切需要一种气密性好、放气率低、工艺温和的封接方法。本文提出了一种基于Ag-In合金的硅-铜的新封接方法,即利用Ag-In合金中间层将硅片封接到无氧铜板支撑件上,并通过法兰连接到真空测试系统中。研究优化了无氧铜板支撑件的的结构设计并通过ANSYS Workbench验证合金层的缓冲作用,通过实验找到最佳的封接工艺参数,并使用氦质谱检漏仪测量了封接组件的本底漏率。测量结果显示,在一个大气压的上游压力下测得的最小本底漏率为7.49×10^(-12)Pa·m^(3)/s。