-
题名三维形貌测量的扫描相移法研究
被引量:11
- 1
-
-
作者
徐建强
王蕴栅
司书春
高成勇
云大真
-
机构
大连理工大学工程力学系
山东大学物理与微电子学院
-
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第10期1210-1213,共4页
-
文摘
物体三维形貌测量中常用的光切法的主要优点是易于实现扫描测量大型物体表面 ,缺点是光刀中心位置难以精确确定 ;相移法的主要优点是可以用较宽的光栅提高测量的灵敏度与准确度 ,具有测量速度快和较好的抗静态噪声的能力 ,缺点是当待测范围较大时 ,采集图像的像差较大 ,不利于大型物面的测量 将这两种方法有机地结合起来 ,取长补短 ,提出了一种扫描相移法 实验结果表明 ,这个方法不但适用于长形大物面的形貌检测 ,而且又大大地减少了图像采集系统畸变误差的影响 。
-
关键词
三维形貌测量
扫描相移法
相移法
光切法
-
Keywords
D object shapes
Scan-phase-shifting method
Phase-shifting method
Light-sectioning method(LSM)
-
分类号
O439
[机械工程—光学工程]
TN911.73
[电子电信—通信与信息系统]
-