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题名光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数
被引量:2
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作者
廖荣
张海燕
杨铁铮
谈锬
范宇
王道然
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机构
广东工业大学材料与能源学院
华南理工大学电子与信息学院
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出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2013年第6期10-13,共4页
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基金
广东省自然科学基金项目(9251009001000006)
广东省大学生创新实验项目(1056112024)
国家级大学生创新创业训练计划项目(201210561042)
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文摘
依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理,并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软件SCOUT的新方法可测量已知或未知材料的多层薄膜厚度及其折射率n、消光系数k。通过实际测试证明:该方法可测试单晶硅、玻璃、ITO玻璃基底上沉积薄膜的厚度,样品基本不需要特别准备,对样品无破坏性,测试精准。理论上可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度和光学常数,操作非常简便,适合于镀膜行业的在线检测和实时监控,且SCOUT软件在多层膜及多种材料的研发、制备等方面具有应用潜力。
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关键词
纳米薄膜
光反射干涉谱
薄膜厚度
折射率
消光系数
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Keywords
nanometer film
optical reflection interference spectrum
film thickness
refractive index
extinction coefficient
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
O435.1
[机械工程—光学工程]
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题名无镉的铜铟镓硒太阳电池关键膜层XPS及AFM分析
被引量:1
- 2
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作者
廖荣
张海燕
王道然
杨铁铮
范宇
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机构
广东工业大学材料与能源学院
华南理工大学电子与信息学院
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2014年第3期215-221,共7页
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基金
2013年华南理工大学教研教改项目(No.x2dx-Y1130010)
国家级大学生创新创业训练计划项目(No.201210561042)
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文摘
应用溅射后硒化法和原子层沉积法分别制备了无镉的铜铟镓硒电池关键膜层CIGS光吸收薄膜和ZnO缓冲层,着重对该两膜层进行XPS和AFM表面分析,得到比较理想的制备工艺条件,并结合其它检测方法:SEM、XRD及吸收光谱等,证明采用操作简便、成本低廉的该工艺能制备出无镉的铜铟镓硒电池。通过I-V测试结果,该电池有一定的光电转换效率。
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关键词
原子层沉积
氧化锌
XPS
AFM
无镉的铜铟镓硒太阳能电池
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Keywords
atomic layer deposition
zinc oxide
XPS
AFM
Cd-free CIGS solar cell
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分类号
TM914.4
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名应用近似模糊熵的不完备信息系统属性约简
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作者
汪琼枝
郑文曦
王道然
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机构
皖西学院金融与数学学院
皖西学院金融风险智能控制与预警研究中心
中国科学技术大学
安徽星瑞齿轮传动有限公司品控部
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出处
《计算机科学》
CSCD
北大核心
2016年第S1期81-82 102,102,共3页
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基金
安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2013B345)
安徽省高等学校省级教学研究项目(2012jyxm004)
安徽省自然科学基金项目(1508085QA04)资助
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文摘
属性约简是Rough集理论的重要研究内容,基于信息熵的属性约简是一种有效的属性约简方法。在实际应用中,获取的信息系统通常是不完备的。针对这种问题,在容差关系下对个体进行分类时,基于属性子集redu与CAttr(属性全集)-redu之间的内在联系,定义了一种新的知识熵,提出了一种新的应用近似模糊熵的不完备信息系统属性约简算法(newS算法),其时间复杂度是O(|C|~2∑mi=1(kpi)2)。最后,在ROSE和UCI data中的6个数据集上进行了实验仿真,结果表明newS算法是可行的,并且在同等约简效果下与其他算法相比具有更高的属性约简效率。
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关键词
不完备信息系统
模糊熵
属性约简
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Keywords
Incomplete information system
Fuzzy entropy
Attribute reduction
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分类号
TP18
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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