电子束曝光机自动输片系统研制

本文概略地介绍了在电了束曝光机上使用的自动输片系统的要求以及其组成部分;较详细地叙述了送取片机构(机械手)的动作过程,并对系统的控制原理及软件设计进行了说明。

智能小流量靶式流量计的研制

小流量、高黏度的介质流量的测量是测量中的难点。靶式流量计测量高黏度介质流量有其独特的优点,但传统的靶式流量计存在机械结构复杂、灵敏度低、小流量时流量系数变化等缺点。介绍了靶式流量传感器的工作原理,对小流量流动流量系数的变化提出了修正方法并研制了智能型小流量测量的靶式流量计。实验结果表明:设计的流量计对高黏度、小流量测量具有较高精度。