用于光刻的准分子激光束整形及其研究进展

阐述了在光刻应用中准分子激光束整形的原因和整形前后光束能量空间分布结果,并对建立准分子激光束整形的理论模型——高斯-谢尔模型(GSM)的方法进行了介绍。总结和分析了微透镜阵列和衍射相位光栅等光束均质器用于光刻激光束整形的优缺点,包括它们的整形能力、能量损失、干涉效应以及波前和振幅均匀化控制等;同时对主要整形器件的原理、特性和进展情况进行了简要综述。

采用应力分析法评估锅炉高温三通强度及其寿命

针对锅炉高温三通的结构特点,提出了评价其强度及寿命的有限元应力分析方法.强度评估采用应力分类原则并使用密赛斯当量应力,总体膜应力区域引入开孔减弱系数概念以避免分析模型复杂化;寿命中的疲劳损伤部分按弹性瞬态考虑,并采用应力指数法简化模型,以提高计算效率;蠕变损伤部分考虑材料的塑性及蠕变松弛作用.以一个实际锅炉三通为例,结合通用有限元软件ANSYS进行了其强度及寿命的计算,结果表明:该三通符合锅炉使用30年的预期,该方法可用于锅炉高温三通的强度及寿命计算.

PCB激光投影光刻照明系统的设计

针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.

基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究

针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要,设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用,结果表明CCD图像的质量明显提高,从而提高了视频图像对准系统的精度,完全满足系统分辨精度2.5μm的要求。

微机式反时限过电流保护整定配合的辅助计算软件

利用微机保护的智能作用，用时间系数t_p整定反时限特性，从而使反时限特性的整定与定时限特性同样简便。编制了反时限过电流保护的整定配合辅助计算软件，极大地减轻了整定计算人员的繁琐劳动。

集团公司债券赎回的界定

企业集团编制合并会计报表时,集团内部各公司间相互持有对方发行的债券,必须进行抵消。如果一方直接从另一方取得债券,取得成本同债券的帐面价值相同,不会产生差额,会计处理没有特殊要求,但一方在公开市场上购入另一方流通在外的债券时,取得成本同债券的帐面价值往往存在差异。