SiC薄膜高温压力传感器

SiC是制造高温半导体压力传感器的理想材料。介绍了在Si衬底上外延生长 3C -SiC薄膜和用它制作的SiC高温压力传感器 ,并对研制结果进行了分析。简单介绍了其它几种SiC压力传感器的特点、结构和制作方法。

矩形硅杯绝对压力传感器的研制

绝对压力传感器大量应用于环境压力检测、海拔高度测量、大气数据处理、地球物理研究、海底测量等领域.尤其是近年来在汽车行业中的大量应用,使性能好、价格低。

呼吸机微型呼吸压力传感器的研制及应用

该微型呼吸压力传感器采用EI型梁膜结构的弹性敏感元件。应用在便携式呼吸机上，使呼吸机具备了多种供气方式、自动同步呼吸和自动监测报警等功能。

创伤弹道学研究用微型高频高压传感器的设计

为创伤弹道学研究设计开发了外径6mm,量程20MPa,频响400kHz的可植入生物体内工作的压阻式微型高频高压传感器,背面感压的2mm直径的圆平膜弹性元件设计是最佳选择。激波管动态试验表明传感器的固有频率大于400kHz,上升时间小于1μs。在实验动物猪上,与进口压电传感器同步植入,实弹试验表明,新开发的这种传感器有更陡的脉冲前沿和更高的力学灵敏度。