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类金刚石多层膜在不同环境下的摩擦磨损行为研究 被引量:9
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作者 张伟 张纾 +1 位作者 田中章浩 徐滨士 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期510-514,共5页
采用等离子体辅助化学气相沉积法在单晶硅表面制备由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜,通过调整工艺参数获得亚层厚度在25~1000nm之间的DLC多层膜,采用球-盘摩擦磨损试验机探讨了DLC多层膜在真空、氧气及干燥空气下的摩擦磨损行... 采用等离子体辅助化学气相沉积法在单晶硅表面制备由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜,通过调整工艺参数获得亚层厚度在25~1000nm之间的DLC多层膜,采用球-盘摩擦磨损试验机探讨了DLC多层膜在真空、氧气及干燥空气下的摩擦磨损行为.结果表明,在不同摩擦环境下,多层结构对DLC多层膜的摩擦系数影响较小,但对其磨损率影响较大.多层结构可以有效抑制DLC膜的磨损,特别是在氧气和干燥空气环境中,DLC多层膜的磨损率明显低于DLC单层膜.特定亚层厚度的DLC多层膜在不同摩擦环境中均具有稳定的耐磨性能,磨损率约在10^-8mm^3/Nm数量级. 展开更多
关键词 类金刚石膜 多层膜 摩擦磨损性能
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类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备技术与各种特性 被引量:6
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作者 田中章浩 《珠宝科技》 2004年第6期23-28,共6页
类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性 ,其开发研究已引起人们的极大关注。文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说。
关键词 类金刚石薄膜 金刚石薄膜 等离子体CVD 离子束沉积 等离子体离子注入 磁控溅射 摩擦 硬度
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从机械设计的观点看密封技术
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作者 田中章浩 刘爱堂 《橡胶参考资料》 2000年第3期56-59,共4页
前言从产业领域到我们日常接触的各种机械,为防止润滑剂、作动介质的泄漏以及由外部环境异物的侵入,所以采用任何形式的密封都是必要的。
关键词 机械设计 密封技术 密封材料 机械密封 橡胶
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极限环境与密封技术
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作者 田中章浩 王宝娣 《机电设备》 1993年第3期20-25,共6页
随着科学技术的发展,机器在非一般大气工况下工作,如在真空、高压、腐蚀、低温、高温及有放射性的所谓“极限”环境下工作的情况,已屡见不鲜。为使机器设备能在上述这类极限环境下正常运转,对于轴承、密封等机械部件须从摩擦学角度加以... 随着科学技术的发展,机器在非一般大气工况下工作,如在真空、高压、腐蚀、低温、高温及有放射性的所谓“极限”环境下工作的情况,已屡见不鲜。为使机器设备能在上述这类极限环境下正常运转,对于轴承、密封等机械部件须从摩擦学角度加以考虑,使之能适合环境的特殊性要求。本文以机械部件中的密封为着眼点,对各种极限环境中设备的密封逐一加以阐述。 展开更多
关键词 极限环境 密封
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