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题名基于胶膜转印的气动微阀及微流控芯片
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作者
徐校杰
田浩为
邱晔
吴梦希
刘军山
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机构
大连理工大学机械工程学院高性能精密制造全国重点实验室
大连理工大学机械工程学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第10期100-107,共8页
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基金
国家重点研发计划青年科学家项目(2022YFB3204600)
大连理工大学医工交叉联合基金(DUT23YG215)
大连理工大学科技领军人才团队项目(DUT22LAB504)。
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文摘
微阀是微流控芯片的重要部件,然而现有的微阀存在加工复杂、不利于批量生产等缺点,限制了微流控芯片的应用范围。研发了基于胶膜转印的胶粘键合方法,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流道和聚二甲硅氧烷(PDMS)柔性薄膜制备了带有气动微阀的微流控芯片。通过调节转印参数,在PDMS薄膜上可控地制备了厚度约为1μm胶膜,随后利用微米级的胶膜实现了PDMS薄膜与PMMA微流道层的胶粘键合,既避免了微流道的堵塞,又保证了微流道结构的精确性。设计并制备了由上层气体流道、中间柔性薄膜和下层液体流道构成的气动微阀,由上层气体流道内输入气压驱动PDMS薄膜向下层的液体流道变形以实现流体控制功能。构建了静力学模型分析微阀的关闭特性,根据薄膜变形的仿真结果优化微阀结构,确保微阀的有效截止。经测试,微阀具有优异的开关特性,关闭的响应时间为550ms,开启的响应时间为200ms。表征了不同气体和液体压强下的体积流量变化规律,验证了气动微阀可以实现对流体体积流量的精准调控。通过研发胶膜转印工艺实现了PMMA和PDMS的高效无损键合,开发了适合大规模制造的气动微阀,为微流控芯片进一步的实际应用开辟了新的途径。
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关键词
气动微阀
微流控芯片
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
胶粘键合
转印
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Keywords
pneumatic microvalve
microfluidic chip
polymethylmethacrylate(PMMA)
adhesive bonding
transfer printing
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分类号
TP67
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名企业法人终止的立法缺陷及审判对策
被引量:3
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作者
田浩为
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机构
天津市高级人民法院
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出处
《法律适用(国家法官学院学报)》
2000年第11期35-38,共4页
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关键词
中国
企业法人终止
立法缺陷
民法
企业法
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分类号
D926
[政治法律—法学]
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题名保理法律问题研究
被引量:25
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作者
田浩为
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机构
天津市高级人民法院原审判委员会
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出处
《法律适用》
CSSCI
北大核心
2015年第5期94-100,共7页
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文摘
近年来,购货商赊销付款已经逐步成为主导贸易结算方式。为适应这一市场格局的变化,我国保理业务迅速发展,但由于立法相对滞后和执法的不统一,影响了该行业的发展。本文结合保理实务,运用比较分析的方法就审判实践中亟待解决的问题,如案由的确定、案件的管辖等程序法上的问题以及应收账款转让通知的形式与效力、保理商的资金回收、同一应收账款之上权利冲突的解决规则等实体法上的问题进行研究,并在此基础上提出解决问题的法律构想。
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关键词
保理
应收账款转让
比较法
法律构想
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分类号
D922.28
[政治法律—经济法学]
D923
[政治法律—民商法学]
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