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电子工业洁净室的洁净度关键影响因素及解决方案探讨 被引量:4
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作者 章忠飞 翟传明 +4 位作者 李晨 苏乃硕 田炳欢 闻义 谷悦 《智能建筑与智慧城市》 2019年第2期41-43,共3页
电子厂房洁净室作为一个庞大而复杂的系统,会导致其洁净度不合格的因素很多。为了保持洁净室洁净度水平,应定期进行洁净检测,并通过人员、设备和物品等制度建设管理,保障电子工业洁净室稳定生产。
关键词 电子洁净室 洁净度 影响因素 解决方案
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