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氮氩流量比对磁控溅射TiN薄膜生长织构的影响
被引量:
13
1
作者
田颖萍
范洪远
成靖文
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期19-21,25,共4页
采用直流反应磁控溅射法,通过控制氮氩流量比,在Si(111)衬底上沉积了TiN薄膜,并用织构系数来量化TiN薄膜的生长取向。对TiN薄膜的织构、物相组成、形貌进行表征,分析了溅射沉积过程中氮氩流量比对TiN薄膜生长织构的影响,同时还分析了不...
采用直流反应磁控溅射法,通过控制氮氩流量比,在Si(111)衬底上沉积了TiN薄膜,并用织构系数来量化TiN薄膜的生长取向。对TiN薄膜的织构、物相组成、形貌进行表征,分析了溅射沉积过程中氮氩流量比对TiN薄膜生长织构的影响,同时还分析了不同织构薄膜的表面及截面形貌。结果表明:氮氩流量比低于1∶30时,薄膜的织构由(200)转变为(111),同时还出现了TiN0.61相;(111)织构的薄膜表面均匀,致密性好,粗糙度小,以氮氩流量比为1∶60时所得织构系数为1.63的(111)薄膜最好。
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关键词
氮氩气压比
氮化钛薄膜
织构
磁控溅射
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职称材料
铸态QT550-7球墨铸铁制备及组织研究
被引量:
1
2
作者
吕迎
李俊刚
+2 位作者
王红英
高晓玲
田颖萍
《佳木斯大学学报(自然科学版)》
CAS
2009年第5期708-710,共3页
为了研究铸态QT550-7球墨铸铁组织,铁液凝固过程及石墨球化机理,用回炉铁、生铁、废碳钢、球化剂、孕育剂等材料,采用双联熔炼法制备了球墨铸铁.经测试,化学成分和力学性能满足QT550-7球墨铸铁要求,球墨铸铁组织由铁素体+珠光体+球状石...
为了研究铸态QT550-7球墨铸铁组织,铁液凝固过程及石墨球化机理,用回炉铁、生铁、废碳钢、球化剂、孕育剂等材料,采用双联熔炼法制备了球墨铸铁.经测试,化学成分和力学性能满足QT550-7球墨铸铁要求,球墨铸铁组织由铁素体+珠光体+球状石墨组成,凝固过程为糊状凝固.
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关键词
球墨铸铁
铸态
制备
组织
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职称材料
氮气流量对反应磁控溅射TiN薄膜微结构与力学性能的影响
被引量:
4
3
作者
成靖文
范洪远
田颖萍
《硬质合金》
CAS
2012年第4期203-207,共5页
利用磁控溅射镀膜技术分别在硬质合金YG6X和单晶Si片表面制备TiN薄膜,分析N2流量对薄膜相组成、表面形貌、显微硬度和膜基结合力的影响。结果表明,N2流量对薄膜的微结构以及力学性能具有重要影响。随着N2流量的降低,TiN薄膜表面孔洞和...
利用磁控溅射镀膜技术分别在硬质合金YG6X和单晶Si片表面制备TiN薄膜,分析N2流量对薄膜相组成、表面形貌、显微硬度和膜基结合力的影响。结果表明,N2流量对薄膜的微结构以及力学性能具有重要影响。随着N2流量的降低,TiN薄膜表面孔洞和台阶明显减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在N2流量为0.2sccm时为TiN和TiN0.61两相;N2流量的变化改变了薄膜表面的能量状态,因此,降低N2流量导致TiN薄膜的生长取向由(200)面向(111)面转变。同时,N2流量为2.4 sccm时TiN薄膜的膜基结合力最高,此时TiN薄膜也具有最高的显微硬度。
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关键词
磁控溅射
TIN薄膜
N2流量
硬度
结合力
原文传递
题名
氮氩流量比对磁控溅射TiN薄膜生长织构的影响
被引量:
13
1
作者
田颖萍
范洪远
成靖文
机构
四川大学制造科学与工程学院
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期19-21,25,共4页
基金
国家自然科学基金项目(50874076)
科技人员服务企业行动项目(2009GJF0003)
文摘
采用直流反应磁控溅射法,通过控制氮氩流量比,在Si(111)衬底上沉积了TiN薄膜,并用织构系数来量化TiN薄膜的生长取向。对TiN薄膜的织构、物相组成、形貌进行表征,分析了溅射沉积过程中氮氩流量比对TiN薄膜生长织构的影响,同时还分析了不同织构薄膜的表面及截面形貌。结果表明:氮氩流量比低于1∶30时,薄膜的织构由(200)转变为(111),同时还出现了TiN0.61相;(111)织构的薄膜表面均匀,致密性好,粗糙度小,以氮氩流量比为1∶60时所得织构系数为1.63的(111)薄膜最好。
关键词
氮氩气压比
氮化钛薄膜
织构
磁控溅射
Keywords
N2/Ar air pressure
TiN thin films
orientation
magnetron sputtering
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
铸态QT550-7球墨铸铁制备及组织研究
被引量:
1
2
作者
吕迎
李俊刚
王红英
高晓玲
田颖萍
机构
佳木斯大学材料科学与工程学院
出处
《佳木斯大学学报(自然科学版)》
CAS
2009年第5期708-710,共3页
基金
2009年黑龙江普通高校骨干教师项目支持(1154G012)
文摘
为了研究铸态QT550-7球墨铸铁组织,铁液凝固过程及石墨球化机理,用回炉铁、生铁、废碳钢、球化剂、孕育剂等材料,采用双联熔炼法制备了球墨铸铁.经测试,化学成分和力学性能满足QT550-7球墨铸铁要求,球墨铸铁组织由铁素体+珠光体+球状石墨组成,凝固过程为糊状凝固.
关键词
球墨铸铁
铸态
制备
组织
Keywords
ductile iron
as-cast
preparation
microstructure
分类号
TG255 [金属学及工艺—铸造]
下载PDF
职称材料
题名
氮气流量对反应磁控溅射TiN薄膜微结构与力学性能的影响
被引量:
4
3
作者
成靖文
范洪远
田颖萍
机构
四川大学制造科学与工程学院
出处
《硬质合金》
CAS
2012年第4期203-207,共5页
文摘
利用磁控溅射镀膜技术分别在硬质合金YG6X和单晶Si片表面制备TiN薄膜,分析N2流量对薄膜相组成、表面形貌、显微硬度和膜基结合力的影响。结果表明,N2流量对薄膜的微结构以及力学性能具有重要影响。随着N2流量的降低,TiN薄膜表面孔洞和台阶明显减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在N2流量为0.2sccm时为TiN和TiN0.61两相;N2流量的变化改变了薄膜表面的能量状态,因此,降低N2流量导致TiN薄膜的生长取向由(200)面向(111)面转变。同时,N2流量为2.4 sccm时TiN薄膜的膜基结合力最高,此时TiN薄膜也具有最高的显微硬度。
关键词
磁控溅射
TIN薄膜
N2流量
硬度
结合力
Keywords
magnetron sputtering
TiN film
nitrogen flux
hardness
adhesion
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮氩流量比对磁控溅射TiN薄膜生长织构的影响
田颖萍
范洪远
成靖文
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
13
下载PDF
职称材料
2
铸态QT550-7球墨铸铁制备及组织研究
吕迎
李俊刚
王红英
高晓玲
田颖萍
《佳木斯大学学报(自然科学版)》
CAS
2009
1
下载PDF
职称材料
3
氮气流量对反应磁控溅射TiN薄膜微结构与力学性能的影响
成靖文
范洪远
田颖萍
《硬质合金》
CAS
2012
4
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