集成电路制造中的厂房洁净室暖通设计

阐述暖通系统根据环境因素对机组进行控制。随着洁净室暖通行业的发展,半导体洁净室MAU+FFU+DCC被广泛应用,采用高效机组以及高效风机盘管等高效节能的暖通设备。