半导体设备真空与检漏

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论。指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性。结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常。

X光检测机真空频繁报错故障分析

某型号X光检测机3天左右就出现一次真空故障。故障现象是设备停止抽真空,导致设备不能正常工作。使用2个同精度等级的高真空计同时测量,测量值差一个数量级。将设备上的高真空计送生产厂家维修调整,使用计量过的高真空计进行对比,找到故障原因是真空计不准,导致设备真空报错。该型号设备真空值(绝对压强值)小于下限设定值会报错。

气动增压泵级连及故障分析

基于实际应用,介绍了气动增压泵原理和级连方法。总结了对增压泵的维修经验,阐述了缺少进口增压泵维修资料的现状。分析了增压泵的常见故障和一些特殊故障。采用观测方法测试了增压泵1的P1口压强和增压泵2的换向阀右端压强。给出了增压泵1不受控的原因和增压泵2停止不动的原因。指出今后的发展方向主要集在提高可靠性和小型化上。结果表明,如果有备件,进口增压泵可以做到现场维修,从而提高维修速率和设备完好率。

接触式光刻机汞灯电源功率大幅波动故障处理

某型号接触式光刻机汞灯电源在通道1恒光强模式时,电源功率大幅波动,光的亮度忽明忽暗。使用交换法、恢复参数法找到故障原因,采用合适方法解决故障。

热阴极电离规管频繁损坏故障分析与处理

介绍了热阴极电离规管频繁出现损坏的情况。讲述了热阴极电离真空计原理。通过试验确认了电离规管频繁损坏是在做完工艺并关闭高阀后到真空度降到8 Pa这段时间发生。热阴极电离规管的一个缺点是在(绝对)压强大于1E-1 Pa时,容易氧化灯丝。经过试验确认,热阴极电离规管长时间处于1E-1 Pa到8 Pa间导致了该故障。采用了修改电路和PLC程序的方法,解决了电离规管频繁损坏故障。另外,提高国产复合真空计对电离规管的保护,还有待进一步研究。

对做好现代图书馆后勤保障工作的思考

本文结合传统图书馆的后勤保障工作机制,提出现代图书馆的后勤保障工作面临的新挑战,从新建图书馆对后勤保障工作的新要求与现代图书馆功能变化对后勤保障的新要求等方面入手,深入探讨做好现代图书馆后勤保障工作的各项问题,结合天津海河园图书馆的发展情况,提出相关意见和建议。