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半导体电热膜的性能及其应用前景
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作者 钱时惕 宴柏林 申洪忠 《物理通报》 2003年第6期45-47,共3页
1半导体电热膜成膜及导电机理1.1成膜机理在SnCl4的水溶液中配入SbCl3的溶液,经雾化、高温(800℃～1000℃)分解,使其在基体(石英玻璃、陶瓷、微晶玻璃等)表面沉积,形成一层导电透明薄膜。
关键词 半导体电热膜 成膜机理 导电机理 电热材料 加热器件
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