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基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品
被引量:
5
1
作者
王磊
曲迪
+1 位作者
姬静远
白国人
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期50-54,共5页
针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更...
针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更深入地研究尖晶石材料的结构和性能奠定了基础。
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关键词
聚焦离子束扫描电镜双束系统
微米颗粒
球差校正透射电镜样品
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职称材料
题名
基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品
被引量:
5
1
作者
王磊
曲迪
姬静远
白国人
机构
天津华慧芯科技集团有限公司
清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期50-54,共5页
基金
天津市支持京津冀科技成果转化项目(No.18YFCZZC00360)
中新天津生态城2019年度科技型中小企业升级专项
文摘
针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更深入地研究尖晶石材料的结构和性能奠定了基础。
关键词
聚焦离子束扫描电镜双束系统
微米颗粒
球差校正透射电镜样品
Keywords
FIB-SEM
micro-sized particles
spherical aberration corrected TEM sample
分类号
TH73 [机械工程—精密仪器及机械]
O766.1 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品
王磊
曲迪
姬静远
白国人
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
5
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