基于Visual C++的传感器稳定性测试系统设计与实现

针对传感器稳定性测试过程中效率低的问题,设计开发一套基于Visual C++的测试系统。在主控计算机上对数字量IO输出卡进行指令编程,实现对欧姆龙G5V-2继电器开关的切换控制,搭接自行设计的传感器通道转换接口卡,通过对程控测量仪表KEITHLEY2000发送远程控制指令完成数据采集。该系统集成了网络通讯功能,利用TCP/IP协议,实现了局域网内对传感器稳定性测试的实时监视,并可通过对调温箱和压力控制器的远程控制,模拟特定工业现场环境的温度条件和压力条件对传感器进行的测试。系统有传感器测试工位200个,采用开放性的软件接口设计,具有很强的升级扩展能力。

用于水下航行器水深测量组件的电路设计

基于水下航行器的水深测量的需求,研制了一种水下航行器的水深测量组件,该水深测量组件由共接口的两路不同量程压力传感器和机械压力开关组成的传感器单元和测量电路及控制电路组成。它为水下航行器可提供入水启动控制信号、航行深度测量信号、航行状态多路保护控制信号。基于ATM128设计的测量和控制电路满足了用于水下航行器的水深测量组件的高精度测量、精确控制、与上位机通讯更改保护控制信号的设定值等要求。在电路设计中采用分级供电方式解决了具有大过载比的两路不同量程压力传感器信号归一化和限幅处理的问题,在程序设计中采用上升和下降动态过程判断方法解决了数字量开关信号控制准确性及误动作的问题。产品设计采用了共接口的微型化、集成化、多功能、智能化等技术。

响应面方法的硅刻蚀工艺优化分析（英文）

利用响应面分析方法优化了用于压力传感器硅敏感芯体的刻蚀操作条件。主要考虑了温度、KOH浓度和腐蚀时间三个操作参数,将它们的范围分别设定为40~60℃,0.4~0.48mol/L和5~12.5h,并设定各向异性腐蚀速率为响应值。通过建立二次方模型,分析这些参数的单独影响以及多个操作条件之间对腐蚀速率的相互交叠作用。分析结果表明：模型可以精确预测99%的响应值,相比于腐蚀时间,溶液浓度和工作温度对刻蚀速率的影响更为明显。