应急电源系统在芯片制造工厂中的应用

结合半导体芯片产业的发展现状,介绍了芯片制造的主要工艺流程和电网干扰对芯片制造工厂的影响。重点对应急电源进行分类与比较,并就应急电源在芯片工厂的应用给出工程实例,给广大工程技术人员在进行芯片厂房建厂时,提供了新的解决方案。

FMCS系统在FAB厂房中的应用

结合芯片制造的主要工艺流程和FAB厂房的特点,主要介绍了厂务监控系统FMCS系统的结构及优点,并就FMCS系统在FAB厂房的应用给出工程实例,为进行FAB厂房自动化控制规划提供了新方案。