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高gn值微加速度计的设计 被引量:2
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作者 祁晓瑾 刘俊 石云波 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第10期60-63,共4页
设计了一种新型四梁压阻式MEMS高gn(gn=9.8m/s^2)值加速度计,其量程为0~150000gn,抗冲击200000gn,横向灵敏度小于6%。根据设计指标及强度条件对结构参数进行了优化设计,并进行应力分析、抗冲击分析、横向效应分析以及灵敏度... 设计了一种新型四梁压阻式MEMS高gn(gn=9.8m/s^2)值加速度计,其量程为0~150000gn,抗冲击200000gn,横向灵敏度小于6%。根据设计指标及强度条件对结构参数进行了优化设计,并进行应力分析、抗冲击分析、横向效应分析以及灵敏度分析。同时,利用有限元分析软件,对模型进行了静态应力分析和模态分析,给出了具体的分析结果,并与理论值加以比较,从而使该高gn值加速度计的结构分析和设计更加合理。 展开更多
关键词 压阻式加速度计 高gn值 有限元分析
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微型高过载加速度传感器的加工与测试 被引量:17
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作者 石云波 祁晓瑾 +1 位作者 刘俊 孟美玉 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期200-204,共5页
针对特殊场合的测试要求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部氢氧化钾腐蚀的方法,减小质量块的质量,及其与梁中性面的相对距离,使梁岛式结构与平膜式结构的优点得到有效结合,结构加工工艺简单可行。... 针对特殊场合的测试要求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部氢氧化钾腐蚀的方法,减小质量块的质量,及其与梁中性面的相对距离,使梁岛式结构与平膜式结构的优点得到有效结合,结构加工工艺简单可行。利用霍普金森冲击校准装置进行冲击加速度动态特性校准,试验结果分析表明,被测微加速度传感器的灵敏度为0.71μV/g,与理论值基本吻合。结构受到200 000g冲击后完好且输出信号正常,能有效地满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求。 展开更多
关键词 高过载 加速度传感器 测试
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MEMS高G值加速度传感器设计 被引量:8
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作者 石云波 祁晓瑾 +1 位作者 刘俊 孟美玉 《系统仿真学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第16期4306-4309,共4页
针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进... 针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求。 展开更多
关键词 微机电系统 高G值 加速度传感器 仿真
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引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计 被引量:9
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作者 石云波 祁晓瑾 刘俊 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期537-541,共5页
根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件。通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法。结合过载保护设计,较好地实现了结构... 根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件。通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法。结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合。最后设计了一套可行的加工工艺。 展开更多
关键词 微机电系统 高G值 敏感元件 阻尼设计
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高g微加速度计的研究 被引量:6
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作者 孟美玉 石云波 +1 位作者 刘俊 祁晓瑾 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期222-225,共4页
针对侵彻过程中传感器过载失效的问题,提出了一种四边四梁结构的高g压阻加速度传感器。该结构采用硅玻键合技术控制质量块下底面到玻璃底盖的间距为5μm,为系统提供空气阻尼使其处于最佳阻尼状态,同时玻璃底盖起到了过载保护作用,仿真... 针对侵彻过程中传感器过载失效的问题,提出了一种四边四梁结构的高g压阻加速度传感器。该结构采用硅玻键合技术控制质量块下底面到玻璃底盖的间距为5μm,为系统提供空气阻尼使其处于最佳阻尼状态,同时玻璃底盖起到了过载保护作用,仿真分析表明该结构可承受200000 gn的加速度载荷。最后对加工出的加速度计进行初步的测试,其灵敏度为4.5μV/g,线性度为3.1%。 展开更多
关键词 压阻加速度计 高g 过载 空气阻尼
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中医药联合西医常规疗法治疗有机磷中毒疗效的系统评价 被引量:5
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作者 祁晓瑾 金玉才 孙俊 《中医临床研究》 2019年第13期5-9,共5页
目的:用Meta分析的方法对国内外已公开发表的有关中医药联合西医常规疗法治疗有机磷中毒疗效的研究进行系统评价,期待为临床治疗有机磷中毒选择方案提供参考依据。方法:收集已公开发表的有关中医药联合西医常规疗法治疗有机磷中毒疗效... 目的:用Meta分析的方法对国内外已公开发表的有关中医药联合西医常规疗法治疗有机磷中毒疗效的研究进行系统评价,期待为临床治疗有机磷中毒选择方案提供参考依据。方法:收集已公开发表的有关中医药联合西医常规疗法治疗有机磷中毒疗效的临床随机对照试验,按Meta分析的要求对检索到的原始研究进行质量评估,采用RevMan5.3对符合条件的研究进行Meta分析,评估中医药联合西医常规疗法对有机磷中毒的疗效。结果:符合纳入标准的文献24篇,总样本量1667例,中西医联合治疗与单纯西医治疗相比临床有效率提高[RR=1.20,95%CI(1.14,1.25),P<0.00001],死亡率下降[RR=0.41,95%CI(0.27,0.62),P<0.0001],患者苏醒时间缩短[MD=-6.28,95%CI(-9.57,-2.68),P=0.0002],胆碱酯酶恢复速度加快[MD=-6.16,95%CI(-8.21,-4.10),P<0.00001]。结论:中医药联合西医常规疗法治疗有机磷中毒能够提高治疗成功率,优于单纯西医常规治疗。 展开更多
关键词 中医药 有机磷中毒 META分析 随机对照试验
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基于因子分析的苏保谦治疗咳嗽用药规律研究 被引量:1
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作者 金玉才 丁翔 +3 位作者 陈顺荣 祁晓瑾 苏保谦 孙俊 《中医临床研究》 2019年第34期13-16,共4页
目的:分析苏保谦名中医治疗咳嗽病的用药规律,为咳嗽病的中医治疗提供临床经验。方法:选取苏保谦名中医治疗咳嗽病病例241诊次,采集苏保谦名中医对入选患者开具的中药处方,并将所用中药、用量(以g计算)录入数据库,利用因子分析的手段选... 目的:分析苏保谦名中医治疗咳嗽病的用药规律,为咳嗽病的中医治疗提供临床经验。方法:选取苏保谦名中医治疗咳嗽病病例241诊次,采集苏保谦名中医对入选患者开具的中药处方,并将所用中药、用量(以g计算)录入数据库,利用因子分析的手段选取公因子,对每个公因子下的中药及可能提示的中医治法、针对证候进行初步分析研究。结果:对241首中药处方进行分析发现,苏保谦名中医治疗咳嗽所用中药共111味,使用频率在10%以上的中药有46味,因子分析提取公因子10个,获得不同治法的药物组合10组。结论:该研究初步总结分析了苏保谦名中医治疗咳嗽病的用药规律,体现了审证求因,辨证论治,治病求本,注重药物间相互搭配的学术思想,可为临床治疗咳嗽提供更多的参考。 展开更多
关键词 苏保谦 咳嗽 中医药 因子分析 用药规律
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