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衬底温度对In_xGa_(1-x)N薄膜结构特性的影响
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作者 王金飞 薛玉明 +11 位作者 祝俊刚 周凯 谭炳尧 张衷维 李石亮 裴涛 汪子涵 王一 牛伟凯 姜舒博 杨醒 蓝英杰 《天津理工大学学报》 2012年第1期79-82,共4页
本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬... 本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬底温度较高时有利于沉积高结晶质量的InxGa1-xN薄膜.当衬底温度为470℃时,在硅衬底上所沉积的InxGa1-xN薄膜In含量较高,为46.92%;薄膜表面光滑致密,粗糙度小;颗粒较大,且颗粒大小均匀. 展开更多
关键词 InxGa1-xN薄膜 MOCVD 太阳电池 衬底温度
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电力张力放线施工管理探讨
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作者 侯勇 何广奇 +2 位作者 刘中书 杨大渭 祝俊刚 《电力设备管理》 2022年第2期217-219,共3页
提出一种基于三维GIS系统的输电线路张力放线计算与仿真模拟方法,可实现张力放线的准确、快速计算,与三维模拟校验,为输电线路架线施工提供科学直观的依据和参考。
关键词 电力工程 放线施工 管理探讨 措施分析
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