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衬底温度对In_xGa_(1-x)N薄膜结构特性的影响
1
作者
王金飞
薛玉明
+11 位作者
祝俊刚
周凯
谭炳尧
张衷维
李石亮
裴涛
汪子涵
王一
牛伟凯
姜舒博
杨醒
蓝英杰
《天津理工大学学报》
2012年第1期79-82,共4页
本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬...
本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬底温度较高时有利于沉积高结晶质量的InxGa1-xN薄膜.当衬底温度为470℃时,在硅衬底上所沉积的InxGa1-xN薄膜In含量较高,为46.92%;薄膜表面光滑致密,粗糙度小;颗粒较大,且颗粒大小均匀.
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关键词
InxGa1-xN薄膜
MOCVD
太阳电池
衬底温度
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职称材料
电力张力放线施工管理探讨
2
作者
侯勇
何广奇
+2 位作者
刘中书
杨大渭
祝俊刚
《电力设备管理》
2022年第2期217-219,共3页
提出一种基于三维GIS系统的输电线路张力放线计算与仿真模拟方法,可实现张力放线的准确、快速计算,与三维模拟校验,为输电线路架线施工提供科学直观的依据和参考。
关键词
电力工程
放线施工
管理探讨
措施分析
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职称材料
题名
衬底温度对In_xGa_(1-x)N薄膜结构特性的影响
1
作者
王金飞
薛玉明
祝俊刚
周凯
谭炳尧
张衷维
李石亮
裴涛
汪子涵
王一
牛伟凯
姜舒博
杨醒
蓝英杰
机构
天津理工大学天津市薄膜电子与通信器件重点实验室
天津南大强芯半导体芯片设计有限公司
出处
《天津理工大学学报》
2012年第1期79-82,共4页
基金
天津市教委基金资助项目(20060607)
大学生创新实验计划项目(DCSX10-002)
文摘
本文采用MOCVD工艺,通过调整衬底温度(固定其它工艺参数)来沉积用于太阳电池的InxGa1-xN薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪来分析研究其结构特性.衬底温度较低时有利于薄膜的In注入,衬底温度较高时有利于沉积高结晶质量的InxGa1-xN薄膜.当衬底温度为470℃时,在硅衬底上所沉积的InxGa1-xN薄膜In含量较高,为46.92%;薄膜表面光滑致密,粗糙度小;颗粒较大,且颗粒大小均匀.
关键词
InxGa1-xN薄膜
MOCVD
太阳电池
衬底温度
Keywords
InxGa1-xN thin films
MOCVD
solar cells
substrate temperature
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
O472.8 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
电力张力放线施工管理探讨
2
作者
侯勇
何广奇
刘中书
杨大渭
祝俊刚
机构
国网陕西省电力公司建设分公司
国网陕西省电力公司
北京洛斯达科技发展有限公司
出处
《电力设备管理》
2022年第2期217-219,共3页
文摘
提出一种基于三维GIS系统的输电线路张力放线计算与仿真模拟方法,可实现张力放线的准确、快速计算,与三维模拟校验,为输电线路架线施工提供科学直观的依据和参考。
关键词
电力工程
放线施工
管理探讨
措施分析
分类号
TM7 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
衬底温度对In_xGa_(1-x)N薄膜结构特性的影响
王金飞
薛玉明
祝俊刚
周凯
谭炳尧
张衷维
李石亮
裴涛
汪子涵
王一
牛伟凯
姜舒博
杨醒
蓝英杰
《天津理工大学学报》
2012
0
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职称材料
2
电力张力放线施工管理探讨
侯勇
何广奇
刘中书
杨大渭
祝俊刚
《电力设备管理》
2022
0
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职称材料
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参考文献
引证文献
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