紫外纳秒激光加工高深宽比且高一致性微槽的研究

高深宽比微槽广泛应用于生物学以及电子学等各领域。然而,在制备高深宽比微槽时,微槽的一致性仍然是一个技术上的难题。通过一种新颖的多次扫描技术,利用355纳米纳秒激光成功制备了同时具有高深宽比和高一致性的微槽。研究了脉冲能量、离焦量和扫描次数对微槽深度和宽度的影响。结果表明:略微增加负离焦量和脉冲能量可以显著提高微槽的深宽比,但过大的脉冲能量会导致一致性下降。提出一种多次扫描的方法,通过在每次扫描的同时调整激光离焦量,制备了一组高深宽比且高一致性的微槽。所获得的微槽的平均深宽比高达6.84,深度和宽度的一致性也得到了显著提高。深度和宽度的相对标准偏差分别低至4.8%、4.4%。由于其高深宽比和高一致性,这些微槽有望在生物医学科学、3D微型电池和超疏水表面等领域得到广泛应用。