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一种用于对长直导轨的微小不平度进行动态测量的方法
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作者 祭瑞 单慧波 何乃文 《天津城市建设学院学报》 CAS 1996年第3期18-23,共6页
探讨了一种能对长直导轨的微小不平度进行高精度实时测量的新方法.其原理是用一个光栅与激光干涉条纹组成莫尔条纹,利用莫尔条纹的放大作用将干涉条纹在微小角变下的微小移动放大几千倍,从而大大提高了测量灵敏度,使测量精度提高到... 探讨了一种能对长直导轨的微小不平度进行高精度实时测量的新方法.其原理是用一个光栅与激光干涉条纹组成莫尔条纹,利用莫尔条纹的放大作用将干涉条纹在微小角变下的微小移动放大几千倍,从而大大提高了测量灵敏度,使测量精度提高到0.5″. 展开更多
关键词 不平度 导轨 放大作用 敏度 动态测量 移动 莫尔条纹 激光干涉 测量精度 高精度
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