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微型光机电系统
被引量:
3
1
作者
叶雄英
周兆英
+1 位作者
福田敏男
新井史人
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第10期30-32,35,共4页
微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种...
微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。
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关键词
MEMS
微型光机电系统
光学平台
光开关
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职称材料
基于扫描电子显微镜的碳纳米管拾取操作方法研究
被引量:
4
2
作者
杨权
马立
+5 位作者
杨斌
丁汇洋
陈涛
杨湛
孙立宁
福田敏男
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第13期345-355,共11页
碳纳米管场效应管是未来纳米器件的发展方向,而制造纳米器件的前提是拾取碳纳米管,基于扫描电子显微镜(SEM)的微纳机器人操作系统能够实现碳纳米管拾取操作.本文建立拾取操作中碳纳米管与原子力显微镜(AFM)探针间范德瓦耳斯力力学模型,...
碳纳米管场效应管是未来纳米器件的发展方向,而制造纳米器件的前提是拾取碳纳米管,基于扫描电子显微镜(SEM)的微纳机器人操作系统能够实现碳纳米管拾取操作.本文建立拾取操作中碳纳米管与原子力显微镜(AFM)探针间范德瓦耳斯力力学模型,不同接触状态下范德瓦耳斯力越大越有利于拾取碳纳米管.在SEM视觉反馈图像中建立相对坐标系,首先提出倾角变值方法检测碳纳米管与AFM探针的接触状态,然后运用动态差值方法识别碳纳米管与AFM探针空间位姿并校正碳纳米管位姿,最后自下而上拾取碳纳米管.实验结果表明:拟合直线倾角变值较大时碳纳米管与AFM探针发生接触,动态差值变化为零时碳纳米管与AFM探针为空间线接触,在完全线接触模型下选择合适的接触角度、接触长度和拾取速度能够成功拾取碳纳米管.
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关键词
碳纳米管
视觉反馈
接触检测
位姿识别
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职称材料
机器鼠的仿鼠运动程度评估
3
作者
李康
石青
+4 位作者
李昌
邹明杰
王化平
福田敏男
黄强
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2017年第3期347-354,共8页
在仿生机器鼠与实验鼠行为交互实验中,需要机器鼠能够在形态和动作行为上都非常接近实验鼠.为此,对先前研制出的仿生机器鼠硬件进行了优化改进,使其在形态上更接近实验鼠.使用最大俯仰角(MPA)和最大到达高度(MRH)、最大弯曲角(MBA)和最...
在仿生机器鼠与实验鼠行为交互实验中,需要机器鼠能够在形态和动作行为上都非常接近实验鼠.为此,对先前研制出的仿生机器鼠硬件进行了优化改进,使其在形态上更接近实验鼠.使用最大俯仰角(MPA)和最大到达高度(MRH)、最大弯曲角(MBA)和最小弯曲距离(MBD)4个参数来评估机器鼠的动作基元:俯仰和偏航运动.实验结果表明,改进后的机器鼠具有良好的俯仰运动性能,偏航运动还需要完善.然后,结合基于俯仰角和弯曲角的第1个关键影响因子、以及基于到达高度和弯曲距离的第2个关键影响因子,以其作为衡量机器鼠与实验鼠运动相似度的量化指标,并建立运动相似性评估模型.最后,通过机器鼠对实验鼠3个典型行为过程的模拟,计算出前述的2个关键影响因子,得到机器鼠对实验鼠典型行为的相似度分别为96.12%、98.68%和96.61%.上述实验结果表明,机器鼠能够高质量地实现对实验鼠动作行为的模拟.
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关键词
机器鼠
运动性能评估
运动相似性评估
原文传递
题名
微型光机电系统
被引量:
3
1
作者
叶雄英
周兆英
福田敏男
新井史人
机构
清华大学精密仪器与机械学系
日本名古屋大学微系统工学科
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第10期30-32,35,共4页
文摘
微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。
关键词
MEMS
微型光机电系统
光学平台
光开关
Keywords
MEMS, Micromachined Display, Micro Free Space Optical Bench, Tunable Wavelength, Micro Optical Switch.
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
基于扫描电子显微镜的碳纳米管拾取操作方法研究
被引量:
4
2
作者
杨权
马立
杨斌
丁汇洋
陈涛
杨湛
孙立宁
福田敏男
机构
上海大学机电工程与自动化学院
苏州大学机器人与微系统中心
北京理工大学机电工程学院智能机器人研究所
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第13期345-355,共11页
基金
国家自然科学基金(批准号:61573238
61433010)资助的课题~~
文摘
碳纳米管场效应管是未来纳米器件的发展方向,而制造纳米器件的前提是拾取碳纳米管,基于扫描电子显微镜(SEM)的微纳机器人操作系统能够实现碳纳米管拾取操作.本文建立拾取操作中碳纳米管与原子力显微镜(AFM)探针间范德瓦耳斯力力学模型,不同接触状态下范德瓦耳斯力越大越有利于拾取碳纳米管.在SEM视觉反馈图像中建立相对坐标系,首先提出倾角变值方法检测碳纳米管与AFM探针的接触状态,然后运用动态差值方法识别碳纳米管与AFM探针空间位姿并校正碳纳米管位姿,最后自下而上拾取碳纳米管.实验结果表明:拟合直线倾角变值较大时碳纳米管与AFM探针发生接触,动态差值变化为零时碳纳米管与AFM探针为空间线接触,在完全线接触模型下选择合适的接触角度、接触长度和拾取速度能够成功拾取碳纳米管.
关键词
碳纳米管
视觉反馈
接触检测
位姿识别
Keywords
carbon nanotubes
visual feedback
contact detection
pose recognition
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
机器鼠的仿鼠运动程度评估
3
作者
李康
石青
李昌
邹明杰
王化平
福田敏男
黄强
机构
北京理工大学
出处
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2017年第3期347-354,共8页
基金
国家自然科学基金(61403032)
北京市科技新星计划(Z161100004916071)
机器人仿生与功能研究北京市重点实验室研究基金
文摘
在仿生机器鼠与实验鼠行为交互实验中,需要机器鼠能够在形态和动作行为上都非常接近实验鼠.为此,对先前研制出的仿生机器鼠硬件进行了优化改进,使其在形态上更接近实验鼠.使用最大俯仰角(MPA)和最大到达高度(MRH)、最大弯曲角(MBA)和最小弯曲距离(MBD)4个参数来评估机器鼠的动作基元:俯仰和偏航运动.实验结果表明,改进后的机器鼠具有良好的俯仰运动性能,偏航运动还需要完善.然后,结合基于俯仰角和弯曲角的第1个关键影响因子、以及基于到达高度和弯曲距离的第2个关键影响因子,以其作为衡量机器鼠与实验鼠运动相似度的量化指标,并建立运动相似性评估模型.最后,通过机器鼠对实验鼠3个典型行为过程的模拟,计算出前述的2个关键影响因子,得到机器鼠对实验鼠典型行为的相似度分别为96.12%、98.68%和96.61%.上述实验结果表明,机器鼠能够高质量地实现对实验鼠动作行为的模拟.
关键词
机器鼠
运动性能评估
运动相似性评估
Keywords
robotic rat
locomotion performance evaluation
motion similarity evaluation
分类号
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型光机电系统
叶雄英
周兆英
福田敏男
新井史人
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998
3
下载PDF
职称材料
2
基于扫描电子显微镜的碳纳米管拾取操作方法研究
杨权
马立
杨斌
丁汇洋
陈涛
杨湛
孙立宁
福田敏男
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
下载PDF
职称材料
3
机器鼠的仿鼠运动程度评估
李康
石青
李昌
邹明杰
王化平
福田敏男
黄强
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2017
0
原文传递
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